[发明专利]一种低温等离子体发生装置及运行方法

权利要求书

1.一种低温等离子体发生装置，包括电源控制部分和放电模块部分；所述电源控制部分包括电源变换电路、控制电路、功率变换电路、变压器、温度传感器、显示操作模块、通讯接口，所述放电模块部分包括多组并联连接的介质阻挡放电单元，其特征在于：介质阻挡放电单元包括介质阻挡放电装置、可调电感组，介质阻挡放电装置与可调电感组串联连接；所述电源控制部分的变压器与并联连接的介质阻挡放电单元连接。

2.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生装置，其特征在于：所述介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置可以是同轴管式介质阻挡放电装置，也可以是平板式介质阻挡放电装置或管管式介质阻挡放电装置。

3.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生装置，其特征在于：所述介质阻挡放电单元的可调电感组与介质阻挡放电装置其中一个电极串联连接，或将可调电感组分成两组分别与介质阻挡放电装置的两个电极串联连接。

4.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生系统，其特征在于：所述介质阻挡放电单元的可调电感组由多个电感串联组成其中有至少有一个电感量可调。

5.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生系统，其特征在于：所述介质阻挡放电单元还可以由：一个可调电感组与多个电并联连接的介质阻挡放电装置串联连接组成，。

6.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生系统，其特征在于：所述电源控制部分通过匹配谐振电容与变压器漏感的参数使其串联谐振频率及运行频率，等于介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置放电时的等效电容与可调电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行；或者通过匹配谐振电容与变压器漏感的参数使其串联谐振频率及运行频率，小于介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置放电时的等效电容与可调电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行。

7.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生系统，其特征在于：还包括，不使用谐振电容，电源控制部分通过匹配运行频率等于变压器漏感、放电模块部分等效电容、放电模块部分等效电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行。

8.本发明还提供一种低温等离子体发生系统的运行方法，包括自检过程及运行监控过程其特征在于：自检过程为：当控制电路接收到显示操作模块或通讯接口启动命令时，控制电路利用多个具有限制性的测试参数，并且以每个测试参数为一个测试步骤逐步控制装置运行于具有限制的状态，检测每个步骤下功率变换电路、变压器的输出端电压、电流的幅度及相位特性与正常运行时该步骤下功率变换电路、变压器工作输出的电压、电流的幅度及相位特性的最大参数值及最小参数值比较，判断具有限制的电路工作状态，异常时停止装置运行以及通过显示操作模块显示异常提示、通过通讯接口发送异常状态数据；所述测试参数包括控制电源变换电路输出电压的输出电压参数，及限制控制电源变换电路输出电流的电流限制参数，以及驱动功率变换电路运行的测试频率参数；所述多个具有限制性的测试参数有一个测试参数控制装置工作时符合即使功率变换电路、变压器故障也不会引起故障范围扩大及损坏电源变换电路的特点；所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合即使变压器输出空载的情况下也能安全运行的特点；所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合介质阻挡放电装置获得激励电压小于并接近于最小放电电压的特点；所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合介质阻挡放电装置获得激励电压等于或稍大于最小放电电压的特点；

所述运行监控过程为：自检过程完成后进入运行监控状态，控制电路以显示操作模块设置的或通讯接口接收的运行参数，控制电源变换电路及功率变换电路工作驱动变压器激励并联连接的介质阻挡放电单元工作，使介质阻挡放电装置获得10KV～200KV电压放电工作；控制电路检测电源变换电路、功率变换电路及变压器输出端的电压、电流的幅度及相位特性，以及电源变换电路、功率变换电路功率零件的工作温度，与控制电路以该运行参数控制装置正常运行时电源变换电路、功率变换电路及变压器输出端的电压、电流的幅度及相位特性及工作温度的最大参数值及最小参数比较，判断电路工作状态，异常时停止装置运行以及通过显示操作模块显示异常提示、通过通讯接口发送异常状态数据；所述运行参数包括控制电源变换电路输出电压的输出电压参数，及限制控制电源变换电路输出电流的电流限制参数，以及驱动功率变换电路运行的运行频率参数。