[发明专利]一种激光点位标记设备及其方法

说明书

本发明公开了一种激光点位标记设备及其方法，所述激光点位标记设备设置于所要标记基板的外侧上方，包括X轴向导轨和设置于X轴向导轨上的移动载台，通过移动载台在X轴向导轨上的位置获得基板上X轴向的标记点位置，移动载台包括激光光源、反射镜和驱动装置，激光光源所发出的激光束进入反射镜，并经反射镜反射后形成反射光束沿垂直X轴的方向输出，驱动装置驱动反射镜旋转，使反射镜输出的反射光束与X轴向导轨保持垂直；通过激光光源的反射光束与入射光束所形成的角度θ及X轴向导轨与基板的相对位置尺寸获得基板上Y轴方向的标记点位置。本发明通过移动载台沿X轴向导轨的水平移动及其旋转运动，即可准确确定需标记点的坐标。

技术领域

本发明涉及基板点位标记领域，具体涉及一种激光点位标记设备及其方法。

背景技术

如图1所示，采用MAC(宏观检查机)对基板1进行标记点位时，位于基板1两端的X轴向导轨2带动Y轴向导轨7沿其X轴向移动，用来确定标记点位在X轴向的位置，在Y轴向导轨7上设有具有反射镜和激光光源的移动载台4，移动载台4沿着Y轴向导轨7移动，用来确定标记点位在Y轴向的位置。在实施过程中由于Y轴向导轨7的遮挡导致需标记的点位难以准确标记，另外，两条X轴向导轨2由于运动速度不均，导致其产生运动障碍，会造成Y轴向导轨7产生倾斜，从而对基板1的标记点位存在偏差。

发明内容

因此，本发明要解决现有技术中不能对基板进行准确点位标记的技术问题，从而提供一种激光点位标记设备及其方法。

一方面，本发明提供了一种激光点位标记设备，其设置于所要标记基板的上方，包括X轴向导轨和设置于所述X轴向导轨上的移动载台，所述移动载台与所述X轴向导轨滑动连接，通过所述移动载台在X轴向导轨上的位置获得所述基板上X轴向的标记点位置，所述X轴向导轨设置于所述基板的外侧上方位置，所述移动载台包括激光光源、反射镜和驱动装置，所述激光光源所发出的入射光束进入所述反射镜，并经所述反射镜反射后形成反射光束，所述反射光束沿垂直X轴的方向输出，所述驱动装置驱动所述反射镜旋转，使由所述反射镜输出的反射光束与所述X轴向导轨保持垂直；通过所述激光光源的所述反射光束与入射光束所形成的角度θ及所述X轴向导轨与基板的相对位置尺寸获得基板上Y轴方向的标记点位置。

所述基板上的中心设为X轴和Y轴的坐标原点，其中Y轴指向所述X轴向导轨，所述基板上标记点位置坐标为(x,L2/2+L3-H/tan(θ))；

其中：L2—与X轴向导轨相垂直的基板一侧边尺寸；

L3—基板与X轴向导轨间的距离；

H—反射镜的反射点距离X轴向导轨的高度。

所述驱动装置为一驱动轴，其设置于所述反射镜的反射镜面的中部，且与所述X轴向导轨平行设置，所述激光光源的入射光束入射至所述驱动轴所在位置的反射镜面上。

所述反射镜为等腰直角三棱镜，所述激光光源的入射光束由所述反射镜的一直角边入射至位于所述驱动轴位置处的反射镜面上，并由所述反射镜的另一直角边输出反射光束。

所述X轴向导轨与所述基板较长的一侧边平行设置。

另一方面，本发明还提供了一种激光点位标记方法，所述方法包括如下步骤：

步骤一，在基板上建立直角坐标系(x，y)，并设定坐标系原点；

步骤二，在基板的外侧上方位置设定一与基板一侧边平行设置的X轴向导轨，在X轴向导轨上滑动移动载台至需要标记的基板X轴向位置，根据移动载台在X轴向导轨的移动位置确定需要标记点的X轴向坐标；

步骤三，旋转移动载台中的反射镜，使激光光源所发出的入射光束经反射镜反射后到达所需标记的基板Y轴向位置；

步骤四，根据激光光源的入射光束与反射光束所形成的角度θ及X轴向导轨与基板的相对位置尺寸确定基板上所需标记点位的Y轴向坐标。