[发明专利]一种薄膜性能测试中的制片的方法有效
| 申请号： | 201610666186.3 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN106048553B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 申昌军;田兴奎;郑董文;刘大刚;杨文娟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 性能 测试 中的 制片 方法 | ||
【说明书】：
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