[发明专利]电磁导轨装置有效
申请号: | 201610608421.1 | 申请日: | 2016-07-29 |
公开(公告)号: | CN107664920B | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 陈庆生;杨晓峰;季汉川;吴立伟 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电磁导轨 导轨单元 气隙 磁阻电机 矢量 滑块 加速度补偿 滑块单元 滑块行程 嵌入安装 包络 可调 面型 加工 | ||
1.一种电磁导轨装置,其特征在于,包括:
导轨单元,安装在基座上;
滑块单元,包括电磁导轨滑块和矢量磁阻电机组,其中,所述电磁导轨滑块包络安装在所述导轨单元上,并与所述导轨单元之间存在气隙;所述矢量磁阻电机组嵌入安装在电磁导轨滑块行程方向两端且与所述气隙对应。
2.如权利要求1所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述导轨单元采用软磁材料制成。
3.如权利要求1所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述导轨单元的截面为正多边形。
4.如权利要求1所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述矢量磁阻电机组包括沿滑块单元行程方向两端位置设置的2组磁阻电机组,每组磁阻电机组包括至少3个沿圆周均匀分布的磁阻电机。
5.如权利要求4所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述磁阻电机包括:磁轭和线圈,其中,所述磁轭的截面为E字型,且磁轭中间的主磁极的宽度为其两侧的副磁极的1.5~2倍,所述线圈绕制在所述主磁极的极柱上。
6.如权利要求5所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述磁轭采用硅钢制成。
7.如权利要求4所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述电磁导轨装置还包括位移传感器,所述位移传感器的数量与所述磁阻电机的数量相同,嵌入安装在磁阻电机的对位测量面的电磁导轨滑块内,并与气隙对应。
8.如权利要求7所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述位移传感器采用电容式传感器或者电涡流式传感器。
9.如权利要求1所述的电磁导轨装置,其特征在于,所述电磁导轨滑块采用不锈钢或者陶瓷材料制成。
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