[发明专利]膜厚的检测装置有效
| 申请号： | 201610579151.6 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106197248B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 戚务昌 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器芯片 公共单元 检测装置 信号处理单元 方向间隔 膜厚 检测 传输通道 方向排列 方向平行 公共电极 间隔设置 检测电极 平面垂直 移动方向 输出 电连接 膜移动 薄膜 垂直 申请 | ||
【说明书】：
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