[发明专利]激光切割装置

说明书

技术领域

本发明涉及激光切割领域，更具体地，涉及一种激光切割装置。

背景技术

薄膜产品在制作后一般需要进行分割处理才会得到所需的后续产品，目前多采用激光切割加工方法对薄膜产品进行分割。柔性薄膜材料(以下也简称膜材)在激光切割过程中，部分材料会以气化烟尘的形式逸出，部分材料会作为燃熔飞渣从切割线迸溅喷出，造成切割线周边产生大量污染颗粒。这些污染颗粒若不及时除去，遇到膜材表面就会即刻沉积造成大片难以去除干净的污染斑痕，从而对薄膜产品(例如柔性OLED有机发光半导体)的后续制作工艺产生严重不良影响，降低生产良率。

现有的激光切割装置为有效去除激光切割过程产生的污染颗粒，通常在供激光束穿过的主体上配置有高压气体吹除装置和上吸式集尘罩。高压气体吹除装置的吹气管与高压气体源连通，并与激光束同轴设置。吹气管吹出的高压气体垂直吹向切割点，以不断地带走激光切割时产生的高热量。上吸式集尘罩包括多个与负压系统连通的吸气口，多个吸气口以激光束为中心呈环形布局，以快速将高压气体及污染颗粒吸走，实现循环降温和降低污染的作用。这种激光切割装置适合应用于金属材料等熔融型切割，但对于柔性膜材而言，高压吹气管内气体垂直吹向切割点时，会使柔性膜材在载台上的吸附孔处因受高压气体作用而向下凹陷并脱离焦点，造成切割线热影响区变宽甚至无法切开膜材的现象。另外，绕激光束环形布局的多个吸气口在吸气过程中会将高速喷射出的气化烟尘和燃熔飞渣导向切割线两侧后吸除，这种导向方式很容易引起膜材的切割线两侧区域的污染。另外，上吸式集尘罩对气化烟尘的吸除效果较差，若为了加强吸除效果而过度增加集尘罩内真空度，又会造成载台上的膜材被吸附翘曲而脱离焦点，造成膜材不能顺利被分割。

因此，对于应用于光电子、显示、半导体等行业的柔性薄膜材料而言，亟需一种在激光切割过程中，既能保证切割效果又能有效降低膜材切割线两侧区域污染的激光切割除尘净化装置。

发明内容

本发明旨在提供一种激光切割装置，以解决现有技术中存在的上述技术问题中的至少一个。

本发明提供的激光切割装置，包括：主体，中部具有供激光束穿过的通道；通道具有中心线；转盘，可绕中心线转动地套设于主体的外部；相对于中心线倾斜布置的吹气管；吹气管安装至转盘上，并位于中心线的一侧；吸气管，安装至转盘上，并位于中心线的与吹气管相对的另一侧。

进一步地，由吹气管吹出的气体为惰性气体，并且/或者，吹气管的吹气口对准激光束与被切割材料相交形成的切割点；并且/或者，吸气管的吸气口对准切割点。

进一步地，该激光切割装置还包括：用于驱动转盘转动的驱动装置，以及与驱动装置通信连接的控制器，控制器用于根据预设的切割路线控制驱动装置动作。

进一步地，驱动装置包括：安装至转盘上的减速电机；安装在减速电机的输出轴上的第一齿轮，安装于主体上并与第一齿轮啮合配合的第二齿轮。

进一步地，吹气管通过与中心线平行的进气管与转盘连接；并且/或者，吸气管通过与中心线平行的排气管与转盘连接。

进一步地，吹气管与进气管之间设置有角度调节装置。

进一步地，沿激光束的切割运动方向，吹气管位于切割运动方向的下游，吸气管位于切割运动方向的上游。

进一步地，吹气管的吹气口处设置金属探针，金属探针通过导线与电源连接。

进一步地，吹气管的吹气口处设置有多个向外伸出的支架，支架的外端安装有支撑套，金属探针穿设在支撑套的中心孔中。

进一步地，吹气管内气压的绝对值小于吸气管内气压的绝对值，并且/或者，吹气管的吹气口的口径小于吸气管的吸气口的口径。

本发明提供的激光切割装置，在切割膜材时，通过转动转盘，可以使布置于激光束通道中心线的相对两侧的吹气管和吸气管之间的吹吸气流总能沿切割线方向流动，沿切割线方向流动的吹吸气流对切割过程产生的气化烟尘及燃熔飞渣起到强制导向作用，使得气化烟尘及燃熔飞渣沿切割线方向导入到吸气管内，有效减少了切割过程产生的污染颗粒对膜材切割线两侧区域的污染，克服了现有技术的激光切割装置因吹吸气流导向原因所造成的膜材切割线两侧区域污染的问题。另外，倾斜布置的吹气管使高压气体从侧面吹向激光束的切割区域，相对于现有技术中与激光束同轴布置的吹气管来说，可以减少膜材因垂直受力所造成的凹陷变形、脱离焦点的现象，保证膜材能顺利被切割。

附图说明

下文将参考附图进一步描述本发明的实施例，在附图中：

图1示出了本发明实施例提供的一种激光切割装置工作状态的立体示意图；