[发明专利]旋转式磁控靶及卧式磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201610514130.6 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105908146B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 朱建明;李金清;张闰华 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 谢静娜;裘晖 |
| 地址： | 52606*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 式磁控靶 卧式 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
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