[发明专利]一种超精密研磨头装置

权利要求书

1.一种超精密研磨头装置，其特征在于：包括研磨头(1)和励磁装置(2)，研磨头(1)与励磁装置(2)连接，励磁装置(2)带动研磨头(1)转动并将磁性传递给研磨头(1)；励磁装置(2)内部设置有气体通道(3)，气体通道(3)与研磨头(1)相连通，气体通道(3)内的气流经过研磨头(1)从研磨头(1)外表面喷出；所述研磨头(1)包括磁芯磨头(11)和气孔磨头(12)，磁芯磨头(11)前端位于气孔磨头(12)内，磁芯磨头(11)前端与气孔磨头(12)之间形成有空隙(4)，磁芯磨头(11)后端与励磁装置(2)固定连接，气孔磨头(12)与磁芯磨头(11)同步转动；磁芯磨头(11)后端设置有空腔(1101)，气体通道(3)与空腔(1101)相连，磁芯磨头(11)上空腔(1101)与空隙(4)之间设置有通气孔(5)；气孔磨头(12)的工作面上设置有气孔(6)。

2.如权利要求1所述的一种超精密研磨头装置，其特征在于：所述励磁装置(2)包括电磁铁芯轴(21)、线圈隔热套筒(22)和线圈(23)，线圈(23)缠绕在线圈隔热套筒(22)上，线圈隔热套筒(22)套在电磁铁芯轴(21)上，电磁铁芯轴(21)与研磨头(1)固定连接，气体通道(3)设置在电磁铁芯轴(21)内部。

3.如权利要求2所述的一种超精密研磨头装置，其特征在于：所述气体通道(3)中心线与电磁铁芯轴(21)中心线重合；所述电磁铁芯轴(21)上设置有气道(7)，气道(7)连通气体通道(3)和电磁铁芯轴(21)外表面，气道(7)位于线圈(23)和电磁铁芯轴(21)之间。

4.如权利要求1所述的一种超精密研磨头装置，其特征在于：所述气孔磨头(12)表面的气孔(6)直径为亚微米级。

5.如权利要求1所述的一种超精密研磨头装置，其特征在于：所述气孔磨头(12)表面的气孔(6)直径为纳米级。

6.如权利要求1所述的一种超精密研磨头装置，其特征在于：所述气孔(6)在气孔磨头(12)表面均匀布置；通气孔(5)相对于磁芯磨头(11)的中心线对称布置。

7.如权利要求1所述的一种超精密研磨头装置，其特征在于：所述磁芯磨头(11)的中心线和气孔磨头(12)的中心线重合。

8.如权利要求1所述的一种超精密研磨头装置，其特征在于：磁芯磨头(11)的材质是软铁或者硅钢材料。