[发明专利]一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法有效
| 申请号： | 201610403134.7 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN105865371B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 马骏;高志山;朱日宏;李晓强;王帅;王若言;魏聪 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 白光干涉 待测信号 系统参数 像素点 复原 互相关计算 待测样品 扫描步长 相关函数 延迟量 显微 读取 相乘 灰度值变化 抗噪声能力 峰值检测 条纹图像 微观轮廓 中心波长 光谱 图像 检测 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京理工大学，未经南京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610403134.7/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种平面度检测方法
- 下一篇：一种白光扫描干涉测量方法与系统
