[发明专利]用于静电放电测试的人体放电模型信号发生电路

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路领域，尤其涉及静电放电（ESD）测试中人体放电模型 (HBM, Human Body Model) 信号发生电路。

背景技术

当今科技日新月异，发展更新速度飞快，尤其是在电子信息领域。在集成电路（IC）设计方面，工艺水平不断发展进步，工艺尺寸不断减小，高分子材料也在IC中得到广泛应用。但同时不可避免的会带来一些负面影响，其中ESD保护器件的设计就变得越来越困难，使得产品静电现象的产生日益严重，因而静电的危险性越来越大，也使得ESD测试技术的要求越来越严格。人体模型（HBM，Human Body Model）是目前最常用的模型，也是在产品的可靠性检验中的一定要通过的检测项目。

目前，现有的HBM模型ESD测试标准，定义了不同放电电压在通过100pF的放电电容和1.5KΩ等效电阻时的放电电流波形。在测试过程中，存在以下问题：外接测试设备和HBM测试机台之间有很长的测试连接线，随之将会有寄生电感和寄生电容从而产生寄生效应（如说明书附图图2）。使HBM测试机台产生的激励波形存在明显的杂波，甚至会产生畸变（如说明书附图图7），与标准的波形存在明显的差异，将造成测试结果不准确，从而使得ESD测试结果有误差，直接影响芯片产品的稳定性和可靠性。

发明内容

为了解决上述问题，本专利提出了一种用于ESD测试的HBM信号发生电路，本发明采用的技术方案是：直流高压电源(1)正极串接限流电阻(2)，再接继电器（3），继电器一端接电容器（4），电容器接地（8）构成回路，另一端接高压滤波器（5），再接1.5KΩ电阻（6），再接测试设备（7），最后接地（8）构成回路。

可选的，所述高压滤波器（5）也可接在1.5KΩ电阻（6）和测试设备（7）之间。

可选的，所述高压滤波器（5）可将1.5KΩ电阻（6）分解，与RLC相连组成单级RLC滤波器，再由n个这样的单级RLC滤波器组成多级RLC滤波器。其中，R1+R2+……+Rn=1.5KΩ。

优选的，所述高压直流电源（1）电压范围为0-30KV。

优选的，所述高压滤波器（5）频率范围为0-100MHz。

本发明的有益效果是：用来减小HBM测试机台产生的激励波形存在杂波的幅度，或激励波形产生畸变（如说明书附图图7）的情况，使产生的激励失真波形更加平滑，与标准的激励波形更加吻合（如说明书附图图8），更加准确的给出ESD测试结果，能更加准确的评估芯片产品的稳定性和可靠性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是传统的HBM工业测试等效电路。

图2是传统的HBM工业测试机台与外接被测试设备连接产生寄生效应的等效电路。

图3是本专利的第一种HBM工业测试等效电路。

图4是本专利的第二种HBM工业测试等效电路。

图5是本专利的第三种HBM工业测试等效电路。

图6是图5中的高压滤波器（1）是由1.5KΩ电阻分解与RLC相连组成多级RLC滤波器（其中，R1+R2+……+Rn=1.5KKΩ）。

图7是传统的人体放电模式（HBM）工业测试电流存在寄生较大的波形图（与标准的测试激励波形相差太大）。

图8是新型的人体放电模式（HBM）工业测试电流波形图。

图中1.直流高压电源 ，2.限流电阻，3.继电器 ，4.100pF电容器，5.高压滤波器，6.1.5KΩ电阻 ，7.外接测试设备，8.大地，9.带阻尼高压滤波器,10.高压滤波器电感，11.1.5KΩ的分解电阻，12.高压滤波器电容器,13.高压滤波器电阻器。

具体实施方式