[发明专利]带基片加热和气氛处理的匀胶机有效
| 申请号： | 201610370710.2 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105964488B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 黄芳;袁国栋;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C9/14;B05C11/08 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带基片 加热 气氛 处理 匀胶机 | ||
【权利要求书】：
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