[发明专利]一种超声雾化热解喷涂装置及其使用方法

说明书

本发明涉及一种超声雾化热解喷涂装置包括基片，基片用于放置多组待喷涂样品；及转动机构，转动机构包括第一转动机构和第二转动机构，第一转动机构设置有混液器，混液器盛放待喷涂溶液，第二转动机构设置有雾化喷头，第一转动机构和第二转动机构反向周期性旋转，并可同步到达基片上方的喷涂区域相互配合对基片上的待喷涂样品进行喷涂。本发明还提供一种上述超声雾化热解喷涂装置的使用方法，包括提供上述的超声雾化热解喷涂装置，在基片上放置有多组待喷涂的样品；反向周期性旋转第一转动机构和第二转动机构；当第一转动机构与第二转动机构同步到达基片上方的喷涂区域时，第一转动机构的混液器与第二转动机构的雾化喷头配合，对基片上的样品进行喷涂。

【技术领域】

本发明涉及一种薄膜制备装置，尤其涉及一种超声雾化热解喷涂装置及其使用方法。

【背景技术】

高性能薄膜材料在现代通信技术、光电技术、光催化、新能源、航空以及国防等领域有非常重要的应用。这些材料通常都是由二元及以上的元素构成，材料的组成成分和结构不同，往往会造成材料的各种物理、化学性能出现巨大的差别。

高通量组合材料芯片技术的出现可以极大的加速新材料的研发进程，在较短时间即可完成传统“试错法”几个月甚至几年的工作，该技术的核心是依靠物理气相沉积技术、化学气相沉积技术或固体烧结的方法在 1inch基片上制备多达106个不同组份的样品，并依靠高通量表征技术对制备的高通量样品库进行并行或扫描检测。

目前可用于组合材料芯片的制备装置通常采用磁控溅射和离子束溅射。由于溅射技术依靠等离子体或粒子束流，使得薄膜沉积时会出现衍射，影响样品单元沉积精度，限制了相同基片上高通量样品数量的进一步增加。

相比之下，高通量超声雾化热解喷涂是利用超声波的能量把特定成分和浓度的前驱溶液雾化为粒径微米量级的小液滴，在一定流速载气输运下到达加热的衬底表面附近，热分解后固态生成物沉积到衬底材料表面形成薄膜的薄膜制备工艺。该方法已经广泛用于制备单元和多元氧化物、硫化物、氯化物薄膜材料。

但是现有的高通量超声雾化热解喷涂设备的雾化喷头单一设置，只能喷涂单一的样品，无法实现样品流水线式喷涂，降低了薄膜的制备效率。

【发明内容】

为克服现有技术存在的不足。本发明提供一种超声雾化热解喷涂装置及其使用方法。

本发明解决技术问题的技术方案是提供一种超声雾化热解喷涂装置包括基片，所述基片用于放置待喷涂样品；及转动机构，所述转动机构包括第一转动机构和第二转动机构，所述第一转动机构设置有混液器，所述混液器盛放有待喷涂溶液，所述第二转动机构设置有雾化喷头，所述第一转动机构和第二转动机构反向周期性旋转，并可同步到达基片上方的喷涂区域以使混液器与雾化喷头相互配合对基片上的待喷涂样品进行喷涂。

优选地，进一步包括清洗机构，所述清洗机构包括第一清洗机构和第二清洗机构，所述第一清洗机构用于清洗混液器，所述第二清洗机构用于清洗雾化喷头。

优选地，进一步包括烘干机构，所述烘干机构包括第一烘干机构和第二烘干机构，所述第一烘干构用于烘干混液器，所述第二烘干构用于烘干雾化喷头。

优选地，所述第一转动机构包括一第一支架组，所述第一支架组包括大小相同且相互平行设置的驱动泵支架和混液器支架。

优选地，所述驱动泵支架形状为正N边形，N大于或等于4，且每一条边上均设置有至少两个驱动泵。

优选地，所述混液器支架上设置有混液器，所述混液器与所述驱动泵一一对应连接。

优选地，所述第二转动机构包括一第二支架组，所述第二支架组包括雾化支架，所述雾化支架形状大小与混液器支架相匹配，雾化支架上设置有雾化喷头，所述雾化喷头与混液器一一匹配对应。