[发明专利]用于使用双波形进行离子隔离的系统和方法有效
申请号: | 201610309059.8 | 申请日: | 2016-05-11 |
公开(公告)号: | CN106158571B | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | P·M·雷米斯;M·W·森柯;J·C·施瓦茨 | 申请(专利权)人: | 萨默费尼根有限公司 |
主分类号: | H01J49/00 | 分类号: | H01J49/00;H01J49/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 姬利永 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 使用 波形 进行 离子 隔离 系统 方法 | ||
【说明书】:
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