[发明专利]晶片清洁方法和用于该方法中的晶片清洁装置在审
| 申请号： | 201610236821.4 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN106040627A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李康锡 | 申请（专利权）人： | 光全球半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 清洁 方法 用于 中的 装置 | ||
【说明书】：
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