[发明专利]显微镜标记装置

说明书

本发明涉及一种显微镜标记装置，包括通过一固定结构固定于显微镜上的标记结构，所述标记结构位置对应于显微镜视野区域内、以对目标位置进行标记。本发明的有益效果是：可快速、准确的对目标位置进行标记，且适用范围广，操作简单，成本低。

技术领域

本发明涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种显微镜标记装置。

背景技术

在半导体测试和不良分析过程中，经常是在显微镜镜下快速找到缺陷点，然后再到其他更高分辨率或者成分分析等设备上进行进一步分析，这时就需要对缺陷点进行位置标记，从而方便为后续其他设备制作尺寸更小的样品，并方便样品进入设备内部后快速找到缺陷点。目前常用标记方法有Mark笔直接探入显微镜镜头下标记和利用镭射打标标记。Mark笔直接探入显微镜镜头下的方法由于物镜一般离样品比较近，操作极其不方便，且容易失误。镭射打标的方法设备造价昂贵，而且遇到部分有机材料又无法用镭射打标。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种显微镜标记装置，能快速、准确的对目标位置进行标记，且操作方便、成本低。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种显微镜标记装置，包括通过一固定结构固定于显微镜上的标记结构，所述标记结构包括标记头，所述标记头位于显微镜的视野区域内、以对目标位置进行标记；

所述标记结构包括连接件，用于将所述标记头固定于所述固定结构上；

所述连接件为一可容纳有色液体的中空管状结构，所述中空管状结构包括与显微镜镜面垂直的第一部分，以及与所述第一部分相垂直的第二部分，所述第一部分和所述第二部分连接呈L型结构；

所述标记头包括与所述第二部分相连通的中空连接部，以及与所述中空连接部连接的环形框架，所述环形框架平行于所述第二部分设置，且所述环形框架的底部设有与所述中空连接部连通的凹槽，所述凹槽内嵌装有可吸收有色液体的海绵。

进一步的，所述标记结构包括：

调节件，连接于所述连接件上，调节所述连接件在与显微镜镜面垂直的方向和与显微镜镜面水平的方向上移动以使得所述标记头移动以进行标记。

进一步的，所述标记头还包括定位针，所述定位针的一端设于环形框架的内侧，所述定位针的另一端向所述环形框架的中心延伸。

进一步的，所述凹槽的底部设有第一通孔，该第一通孔向内延伸形成与所述中空连接部连通的通道。

进一步的，所述固定结构包括固定于显微镜上的固定板，以及具有供所述中空结构穿过的第二通孔的连接部。

进一步的，所述调节件包括：

按压头，设于所述中空管状结构远离所述标记头的一端；

弹性部件，设置于所述中空管状结构上、位于所述连接部两侧的位置；

限位部件，设于所述中空管状结构靠近所述标记头的一侧，用于限定相应的所述弹性部件的位置。

进一步的，所述按压头螺接于所述中空管状结构的一端。

进一步的，所述连接部包括具有供所述中空管状结构穿过的第二通孔的第一区域，以及位于所述第一区域两侧的框架结构。

本发明的有益效果是：可快速、准确的对目标位置进行标记，且适用范围广，操作简单，成本低。

附图说明

图1表示本发明实施例中显微镜标记装置整体安装示意图；

图2表示本发明实施例中显微镜标记装置结构示意图；

图3表示本发明实施例中中空管状结构示意图；

图4表示本发明实施例中标记头结构示意图；