[发明专利]气体精确分装装置

说明书

本发明公开了一种气体精确分装装置，包括相互并联且均与主管路连通的真空抽气设备、Ⅰ号容器、Ⅱ号容器、Ⅲ号容器、气体容器、压强计和分装容器，且上述设备及容器与主管路之间均设置有截止阀。本发明根据实际的气体新材料所需分装量选择不同体积的容器并联，使装置内所需压强在一个容易控制的范围；通过真空接口可以对装置进行真空处理，减少杂质混入；由于分装过程需要压强数据，通过压强检测口可以对装置压强进行监控；体积的精确标定可以降低实际分装过程中的体积误差，使分装量更准确；高真空抽气设备可以进一步降低分装过程中的杂质混入量；精度高于0.2%的压强计可以降低实际分装过程中的压强误差，使分装量更准确。

技术领域

本发明属于一种气体分装装置，具体涉及一种气体精确分装装置。

背景技术

目前，国内外常见的分装装置主要有流量控制装置和压强控制装置两类。流量控制装置是指在分装装置入口处接入流量控制设备，根据所需要分装气体的质量控制气体流量和流入时间，达到分装气体的目的；压强控制装置是指标定装入新气体容器的体积，推算出所需气体的压强，外部控制容器瓶口压强，达到分装气体的目的。流量控制装置在气体分装过程中，起始和收尾阶段流量波动很大，此时流量控制设备流量计算误差较大，如果所需分装气体新材料质量很小，会导致气体新材料分装量不够精确；压强控制装置在气体分装过程中，一般要求容器瓶口压强很大，为了保证容器口部压强，外部所需的气体新材料很多，气体新材料分装量很精确，但是需要有大量的气体新材料储备。

发明内容

本发明是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种气体精确分装装置。

本发明的技术方案是：

一种气体精确分装装置，包括相互并联且依次均与主管路连通的真空抽气设备、Ⅰ号容器、Ⅱ号容器、Ⅲ号容器、气体容器和分装容器，主管路上安装有压强计；真空抽气设备与主管路之间设置有D截止阀；Ⅰ号容器与主管路之间设置有Ⅰ号截止阀；Ⅱ号容器与主管路之间设置有Ⅱ号截止阀；Ⅲ号容器与主管路之间设置有Ⅲ号截止阀；气体容器与主管路之间设置有F截止阀；分装容器与主管路之间设置有S截止阀；压强计与主管路之间设置有P截止阀。

所述Ⅰ号容器的容积为5L；Ⅱ号容器的容积为10L；Ⅲ号容器的容积为20L。

本发明的有益效果是：

本发明根据实际的气体新材料所需分装量选择不同体积的容器并联，使装置内所需压强在一个容易控制的范围；通过真空接口可以对装置进行真空处理，减少杂质混入；由于分装过程需要压强数据，通过压强检测口可以对装置压强进行监控；体积的精确标定可以降低实际分装过程中的体积误差，使分装量更准确；高真空抽气设备可以进一步降低分装过程中的杂质混入量；精度高于0.2%的压强计可以降低实际分装过程中的压强误差，使分装量更准确。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

其中：

1 Ⅰ号容器 2 Ⅱ号容器

3 Ⅲ号容器 4 气体容器

5 分装容器 6 真空抽气设备

7 压强计 8 主管路

9 D截止阀 10 P截止阀

11 Ⅰ号截止阀 12 Ⅱ号截止阀

13 Ⅲ号截止阀 14 F截止阀

15 S截止阀。

具体实施方式