[发明专利]一种立体结构的杂质吸收器件

说明书

技术领域

本发明涉及一种杂质吸收器件，具体涉及一种立体结构的杂质吸收器件。

背景技术

采用MEMS工艺制造的智能传感器，如：加速度、陀螺仪、谐振压力、光电图像等，这些智能传感器需要工作在高真空、高洁净的环境下，才能保障其指标Q值和寿命。为了满足智能传感器工作环境需求，通常将智能传感器封装于密闭腔体内并在密闭腔体内设置杂质吸附器件，例如吸气材料，用来吸收封装腔体内部缓慢释放的气体、水分等污染物，维持内部高真空环境。

传统吸气材料普遍采用薄膜、柱状、片状等形态，吸附能力有限并且无法吸附固体杂质，例如粉尘颗粒等，影响智能传感器的使用寿命，亟待出现能够满足智能传感器需求的高性能杂质吸收器件。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种新型立体结构的杂质吸收器件，对传统吸气材料的结构及功能进行了突破性的改进，显著提高吸附效果。

本发明采用的技术方案为：一种立体结构的杂质吸收器件，包括多个支撑桥面，所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔的上表面和/或下表面上设置有吸气材料层。

优选地，所述功能吸附腔中还设置有用于吸附固体杂质的静电吸附装置，所述桥墩的形状构成静电吸附装置的反锁机构。

优选地，所述静电吸附装置是导电极板，设置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上，所述支撑桥面和桥墩采用绝缘材料制成，在导电极板所在功能吸附腔中至少有一个桥墩内部具有金属导线，所述金属导线延伸至导电极板上，形成导电极板的供电通路。

优选地，所述桥墩的形状是内扣的支架形或者圆弧形。

优选地，所述支撑桥面的形状为方形、多边形或圆形。

优选地，所述吸气材料层是合金或者石墨烯。

优选地，在最上层支撑桥面的上表面上设置吸气材料层。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1）本发明提供一种立体结构的杂质吸收器件，将多个支撑桥面和桥墩逐层搭建，形成多个立体结构的功能吸附腔，在每个立体结构的功能吸附腔中均设置有吸气材料层，能够在有限的空间内显著增大吸气材料接触面积，提高吸气效果，延长智能传感器使用寿命；

2）本发明提供的一种立体结构的杂质吸收器件，将多个支撑桥面和桥墩逐层搭建，形成多个立体结构的功能吸附腔，在多个立体结构的功能吸附腔中设置有吸气材料层和静电吸附装置，不仅可以显著提高吸气效果，还能够进一步吸附固体杂质，同时，由于桥墩的反锁机构作用可以防止固体杂质溢出，满足智能传感器对杂质吸附器件提出的高性能需求，进一步延长智能传感器使用寿命。

本发明的另一目的是提供一种新型立体结构的杂质吸收器件，能够吸附固体杂质，防止杂质溢出。

本发明采用的技术方案是：一种立体结构的杂质吸收器件，包括多个支撑桥面，所述多个支撑桥面通过桥墩逐层搭建在基底上形成多个侧面具有开口的功能吸附腔，在每个功能吸附腔中均设置有用于吸附固体杂质的静电吸附装置，所述桥墩的形状构成静电吸附装置的反锁机构。

优选地，所述静电吸附装置是导电极板，设置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上，所述支撑桥面和桥墩采用绝缘材料制成，在每个功能吸附腔中至少一个桥墩内部具有金属导线，所述金属导线延伸至导电极板上，形成导电极板的供电通路。

优选地，所述桥墩的形状是内扣的支架或者圆弧形。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

本发明提供的一种立体结构的杂质吸收器件，将多个支撑桥面和桥墩逐层搭建，形成多个立体结构的功能吸附腔，在每个立体结构的功能吸附腔中均设置有静电吸附装置，能有效吸附固体杂质，同时，由于桥墩的反锁机构作用可以防止固体杂质溢出，延长智能传感器使用寿命。

附图说明

图1是本发明杂质吸收器件的立体结构示意图；

图2（a）是实施例1中提供的杂质吸收器件侧视图1；

图2（b）是实施例1中提供的杂质吸收器件侧视图2；

图2（c）是实施例1中提供的杂质吸收器件侧视图3；

图3（a）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图4；

图3（b）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图5；

图3（c）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图6；

图3（d）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图7；

图3（e）是实施例2中提供的杂质吸收器件侧视图8；

图4（a）是实施例2提供的静电吸附装置俯视图1；