[发明专利]一种用于光刻机曝光的快门装置及其使用方法

权利要求书

1.一种用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，包括快门叶片、驱动所述快门叶片旋转的旋转电机、与所述旋转电机电联接的控制器和用于支撑所述旋转电机的底座，所述快门叶片包括一旋转中心，以及对应所述旋转中心设置的至少一开口区域和遮蔽区域，所述旋转中心连接至所述旋转电机，所述旋转电机带动所述快门叶片旋转完成快门的开闭动作，以形成曝光区域和非曝光区域，且在形成所述曝光区域和所述非曝光区域过程中，所述旋转电机和/或快门叶片旋转速度不为零。

2.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述快门叶片的旋转中心和旋转电机之间还设有连接块。

3.根据权利要求2所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述旋转电机与所述连接块之间还设有减速器。

4.根据权利要求3所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述底座与所述减速器固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述快门叶片中的开口区域和遮蔽区域分别为1个，所述开口区域和遮蔽区域对应的圆心角均为180度。

6.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述快门叶片中的开口区域和遮蔽区域分别为2个，沿所述旋转中心对称设置，所述开口区域和遮蔽区域对应的圆心角均为90度。

7.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述快门叶片中的开口区域和遮蔽区域分别为3个，沿所述旋转中心间隔设置，所述开口区域和遮蔽区域对应的圆心角均为60度。

8.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述遮蔽区域包括沿所述旋转中心由内而外同心设置的镂空部分和光斑扫描区域遮蔽部分。

9.根据权利要求8所述的用于光刻机曝光的快门装置，其特征在于，所述镂空部分呈扇环形，所述光斑扫描区域遮蔽部分呈环形。

10.一种用于光刻机曝光的快门装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：安装快门叶片、旋转电机、控制器和底座，所述快门叶片具有一旋转中心，以及对应所述旋转中心设置的至少一开口区域和遮蔽区域；

S2：通过控制器控制所述旋转电机旋转，从而带动所述快门叶片旋转，在旋转过程中完成快门的开闭动作，以形成曝光区域和非曝光区域。

11.根据权利要求10所述的用于光刻机曝光的快门装置的使用方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述遮蔽区域包括沿所述旋转中心由内而外同心设置的镂空部分和光斑扫描区域遮蔽部分。

12.根据权利要求11所述的用于光刻机曝光的快门装置的使用方法，其特征在于，所述镂空部分呈扇环形，所述光斑扫描区域遮蔽部分呈环形。

13.根据权利要求10所述的用于光刻机曝光的快门装置的使用方法，其特征在于，所述步骤S2中，在形成所述曝光区域和非曝光区域过程中，所述控制器控制旋转电机启动后，带动所述快门叶片进行加速-匀速-减速-静止-加速的循环运动。

14.根据权利要求13所述的用于光刻机曝光的快门装置的使用方法，其特征在于，在所述快门关闭阶段中，所述快门叶片完成所述加速过程和减速过程，在所述快门打开阶段，所述快门叶片处于匀速旋转状态。

15.根据权利要求10所述的用于光刻机曝光的快门装置的使用方法，其特征在于，所述步骤S2中，在形成所述曝光区域和非曝光区域过程中，所述控制器控制所述旋转电机启动后，带动所述快门叶片进行加速-匀速-减速-匀速-加速的循环运动。