[发明专利]一种棱镜旋转调节机构和光刻机曝光系统及光刻机

权利要求书

1.一种棱镜旋转调节机构，其特征在于，包括框架、柔性机构及驱动机构，所述柔性机构包括依次柔性铰接的固定件、驱动件、连接件及摇动件，所述固定件固定在框架上，所述驱动机构与所述框架固接，并与所述驱动件连接，所述摇动件上固定有棱镜，所述摇动件与所述固定件的铰接轴为所述棱镜的旋转中心，所述固定件一端与所述驱动件中部柔性铰接，所述驱动件一端与所述连接件的一端柔性铰接、另一端为自由端，所述连接件的另一端与所述摇动件柔性铰接，所述摇动件中部与所述固定件柔性铰接。

2.根据权利要求1所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，所述驱动机构连接所述自由端。

3.根据权利要求1所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，还包括预紧单元，所述预紧单元一端抵触所述固定件，另一端固定在所述自由端上。

4.根据权利要求3所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，所述预紧单元采用弹簧，所述弹簧一端抵触所述固定件，另一端固定在所述自由端上。

5.根据权利要求1所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，还包括检测单元及与检测单元对应的检测支架，所述检测支架垂直连接所述摇动件，所述检测单元固定在所述框架上且与所述驱动机构构成闭环控制系统。

6.根据权利要求5所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，所述检测支架贯穿所述固定件后对准所述检测单元。

7.根据权利要求1所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，所述驱动机构包括驱动器支架和安装在驱动器支架上的驱动单元，所述驱动器支架与所述框架固接，所述驱动单元连接至所述驱动件。

8.根据权利要求7所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，所述驱动单元采用压电陶瓷电机。

9.根据权利要求1所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，所述固定件、驱动件、连接件及摇动件均采用块状结构。

10.根据权利要求1或9所述的棱镜旋转调节机构，其特征在于，所述固定件、驱动件、连接件及摇动件为一体式结构。

11.一种光刻机曝光系统，其特征在于，包括投影物镜和权利要求1至10中任何一项所述的棱镜旋转调节机构，所述投影物镜包括若干个棱镜，所述棱镜固定在所述棱镜旋转调节机构上。

12.一种光刻机，其特征在于，所述光刻机包括权利要求11所述的光刻机曝光系统。