[发明专利]一种声表面波气体传感器有效
| 申请号： | 201610173136.1 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN105738470B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 谢光忠;唐诗;马行方;吴寸雪;苏元捷;太惠玲;杜晓松;杜鸿飞 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种声表面波气体传感器，以单端谐振型声表面波传感器作为换能器，其特征在于，包括：压电基片、设于压电基片上的叉指换能器、位于叉指换能器两侧的反射栅以及选择性吸附膜区；所述选择性吸附膜区在器件表面以叉指换能器的对称中轴线为对称轴被划分为对称的两个分区，各分区均沉积有对同一特定气体响应的气体敏感薄膜，各分区的气体敏感薄膜对同一特定气体具有不同响应。
2.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器，其特征在于，所述压电基片采用石英晶体或锗酸铋晶体或铌酸锂晶体或氧化锌薄膜制成。
3.根据权利要求1所述的声表面波气体传感器，其特征在于，所述的气体敏感薄膜为分层薄膜或复合薄膜或分层复合薄膜。
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