[发明专利]一种双阴极竖直旋转微电铸装置有效

专利信息
申请号: 201610166046.X 申请日: 2016-03-22
公开(公告)号: CN105648479B 公开(公告)日: 2017-09-01
发明(设计)人: 蒋炳炎;黎醒;翁灿;董彦灼 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C25D1/00 分类号: C25D1/00
代理公司: 长沙市融智专利事务所43114 代理人: 邓建辉
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 阴极 竖直 旋转 电铸 装置
【权利要求书】:

1.一种双阴极竖直旋转微电铸装置,包括电铸槽(3)、电源(5)、电机(1)、电解阴极(4f)和电解阳极(4k),其特征是:所述的电机(1)通过竖直旋转轴(2)与双阴极夹具单元(4)传动连接,所述的双阴极夹具单元(4)安放在所述的电铸槽(3)中;所述的双阴极夹具单元(4)由一块上固定板(4a)、一块下固定板(4d)、两块阴极安装板(4b)、两块阴极固定板(4g)和一块阳极安装板(4c)组成,所述的竖直旋转轴(2)与所述的上固定板(4a)上端连接,所述的阳极安装板(4c)上端竖直安装在上固定板(4a)中间部位,所述的阳极安装板(4c)下端竖直安装在所述的下固定板(4d)中间部位,所述的阳极安装板(4c)上固定安装所述的电解阳极(4k),两块所述的阴极安装板(4b)相对于所述的阳极安装板(4c)平行安装在所述的阳极安装板(4c)的两侧,两块所述的阴极安装板(4b)上端分别与所述的上固定板(4a)连接,下端分别与所述的下固定板(4d)连接,两块电解阴极(4f)分别安装在两块所述的阴极安装板(4b)面对所述的阳极安装板(4c)的一侧且夹在所述的阴极安装板(4b)与阴极固定板(4g)中间,所述的阴极固定板(4g)与所述的阴极安装板(4b)相对固定;所述的电源(5)的阴极和阳极分别与所述的双阴极夹具单元(4)的所述的电解阴极(4f)和电解阳极(4k)电连接。

2.根据权利要求1所述的双阴极竖直旋转微电铸装置,其特征是:所述的上固定板(4a)和下固定板(4d)的外轮廓为圆柱形。

3.根据权利要求1或2所述的双阴极竖直旋转微电铸装置,其特征是:所述的阴极安装板(4b)和所述的阳极安装板(4c)均为方形。

4.根据权利要求1或2所述的双阴极竖直旋转微电铸装置,其特征是:所述的阴极固定板(4g)通过螺栓(4m)和螺母(4n)与所述的阴极安装板(4b)采用拆卸式固定连接。

5.根据权利要求1或2所述的双阴极竖直旋转微电铸装置,其特征是:所述的阴极安装板(4b)和所述的阳极安装板(4c)与上固定板(4a)和下固定板(4d)通过螺钉(4e)采用拆卸式固定连接。

6.根据权利要求1或2所述的双阴极竖直旋转微电铸装置,其特征是:所述的电铸槽(3)为圆柱形。

7.根据权利要求1或2所述的双阴极竖直旋转微电铸装置,其特征是:所述的双阴极夹具单元(4)的结构件即所述的上固定板(4a)、下固定板(4d)、阴极安装板(4b)、阴极固定板(4g)、阳极安装板(4c)、螺钉(4e)、螺栓(4m)和螺母(4n)均采用耐腐蚀尼龙材料加工制成。

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