[发明专利]电动线性致动器和电动激振装置

说明书

本发明提供一种电动线性致动器，包括：基座；安装于上述基座的固定部支承机构；由上述固定部支承机构弹性地支承的固定部；和相对于上述固定部在规定的驱动方向上被往复驱动的可动部，上述固定部支承机构包括：可动块，其被安装于上述固定部；直线引导件，其以在上述驱动方向上可自由滑动的方式将上述可动块与上述基座连结；和弹性部件，其被配置在上述基座与上述可动块之间，防止上述驱动方向的振动的高频成分的传递。

技术领域

本发明涉及一种电动线性致动器和使用其的电动激振装置。

背景技术

已知有将所谓音圈马达作为驱动装置使用的电动激振装置。在专利文献1中公开了使驱动轴朝向彼此正交的方向的三台电动致动器200、300、400与振动台100连结而成的三轴激振装置1。在专利文献1的激振装置1中，各电动致动器的驱动轴经由在与驱动轴正交的两个轴方向上能够平稳地滑动的双轴滑件(连接部240、340、440)与振动台100连接。该双轴滑件240(340、440)是将以可动轴彼此正交的方式配置的一对直线引导件经由中间台245(345、445)连结而成的。利用该结构，各电动致动器能够不被其它电动致动器的振动台100的驱动所强烈影响(即，以比较少的互相干扰(cross talk))地驱动振动台100。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2009/130953号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

但是，在专利文献1的激振装置1所使用的电动致动器200中，可动部230仅在从其胴体部232的一端向驱动方向突出的细长杆234的前端附近被支承于固定部222，所以可动部230的胴体部232，在与驱动轴正交的方向(不驱动方向)上不以高刚性被支承，在不驱动方向上容易发生振动。因此，由于向可动部230的不驱动方向的振动，产生驱动轴间的互相干扰，会有激振精度降低的情况。

本发明的目的在于提供可动部在不驱动方向上不易振动的电动致动器和通过使用该电动致动器而使激振精确度优良的电动激振装置。

本发明的实施方式的电动致动器，包括：大致筒状的固定部；可动部，其至少一部分被收容于固定部的中空部内，在固定部的轴线方向上被往复驱动；和以使可动部能够在固定部的轴线方向上能往复移动的方式从侧方对可动部进行支承的多个可动部支承机构。可动部支承机构包括：轨道，其被安装于可动部的侧面，在固定部的轴线方向上延伸；和滑块，其被安装于固定部，与轨道卡合，并且，可动部支承机构大致等间隔地配置于以固定部的轴线为中心的周方向上。

利用该结构，可动部被多个可动部支承机构限制向不驱动方向的移动，所以在不驱动方向上不易振动。

可动部也可以构成为由两对可动部支承机构在正交的两个方向上从两侧夹持。

利用这些结构，可动部在正交的两个不驱动方向上分别被从两侧限制移动，所以在不驱动方向上不易振动。

电动致动器也可以以固定部的轴线朝向水平方向的方式被横置，可动部支承机构中的一个被配置于固定部的轴线之下。

利用该结构，可动部被可动部支承机构中的一个从下方支承，所以即使可动部的重量大，也能够有效防止可动部的上下方向上的振动。

也可以构成为可动部包括：杆，其从可动部的一端突出，在固定部的轴线上延伸，固定部包括：轴承，其以使杆在固定部的轴线方向上能自由移动的方式对杆进行支承。

利用该结构，可动部由可动部支承机构和轴承在驱动方向上的两点限制不驱动方向上的移动，所以在不驱动方向上更不易振动。