[发明专利]真空热压烧结炉

说明书

本发明提供了一种真空热压烧结炉，包括：炉体，炉体中设置有上水冷压头及下水冷压头，上水冷压头与下水冷压头位于炉体的两端并相对设置；液压机构，包括上液压缸及下液压缸；及感应加热机构，包括法兰、感应线圈及热压模具，感应线圈安装于法兰上，且，法兰可拆卸的安装于炉体内，感应线圈缠绕设置于热压模具的外侧，且，上水冷压头与下水冷压头夹紧热压模具。通过感应线圈可拆卸的安装于炉体内，可以根据不同的使用需求更换不同尺寸规格的感应线圈及不同尺寸规格的热压模具，这样能使本发明的真空热压烧结炉的温区的范围可调节，以适应不同尺寸的样品的加工，扩大了适用范围，便于用户使用。

技术领域

本发明涉及热压烧结设备领域，特别是涉及一种真空热压烧结炉。

背景技术

目前，真空热压烧结炉根据其加热方式的不同，可分为电阻式热压炉、感应式热压炉、放电等离子体烧结炉。其中，感应式热压炉的升温速率快，成本低，具有广阔的市场前景。但是，感应式热压炉通常只配备单一的感应线圈，温区固定，在针对不同尺寸样品的热压烧结时，由于集肤效应的存在，线圈与热压模具之间间隙越大，烧结效果越受影响，不便于使用。

发明内容

基于此，有必要针对目前的感应式热压炉只能烧结固定尺寸的样品的问题，提供一种能够烧结不同尺寸的样品的真空热压烧结炉。

上述目的通过下述技术方案实现：

一种真空热压烧结炉，包括：

炉体，所述炉体中设置有上水冷压头及下水冷压头，所述上水冷压头与所述下水冷压头位于所述炉体的两端并相对设置；

液压机构，包括上液压缸及下液压缸，所述下液压缸与所述下水冷压头连接，所述上液压缸与所述上水冷压头连接，所述下液压缸带动所述下水冷压头上下运动，所述上液压缸带动所述上水冷压头上下运动；及

感应加热机构，包括法兰、感应线圈及热压模具，所述感应线圈安装于所述法兰上，且，所述法兰可拆卸的安装于所述炉体内，所述感应线圈缠绕设置于所述热压模具的外侧，且，所述上水冷压头与所述下水冷压头夹紧所述热压模具。

在其中一个实施例中，所述上液压缸带动所述上水冷压与所述下液压缸带动所述下水冷压头夹紧所述热压模具并带动所热压模具上下运动，使热压烧结工艺与区熔加热工艺相结合。

在其中一个实施例中，所述感应加热机构还包括测温件，所述测温件能够检测所述感应线圈的感应加热温度；

所述测温件为热电偶，所述热电偶安装于所述热压模具中；

或者，所述测温件为红外探测头，所述红外探测头安装于所述炉体外。

在其中一个实施例中，所述感应加热机构还包括感应电源，所述感应电源设置于所述炉体的外侧，且，所述感应电源与所述感应线圈电连接，所述感应电源通电能够使所述感应线圈进行感应加热作业。

在其中一个实施例中，所述真空热压烧结炉还包括控制机构，所述控制机构与所述感应加热机构电连接，所述控制机构控制所述感应线圈感应加热；

所述控制机构与所述液压机构连接，所述控制机构能够控制所述上液压缸及所述下液压缸工作。

在其中一个实施例中，所述控制机构控制所述上液压缸及所述下液压缸的压力；

所述上液压缸及所述下液压缸的压力为常压时，所述上液压缸及所述下液压缸带动所述热压模具上下运动，使所述热压模具进行区熔加热；

所述上液压缸及所述下液压缸的压力为高压时，所述上液压缸及所述下液压缸带动所述热压模具上下运动，使所述热压模具进行热压烧结工艺与区熔加热工艺相结合；

其中：常压的范围为0Mpa～5Mpa；高压的范围为5Mpa以上。