[发明专利]一种低温真空泵

说明书

本发明公开一种低温真空泵，包括法兰、泵体、第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组，所述法兰设在泵体顶端，所述法兰与泵体焊接，所述第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组设在泵体内，所述第一冷凝翅片组成水平分布，所述第二冷凝翅片组成垂直分布，所述第二冷凝翅片组外侧安装有真空罩，所述真空罩与泵体固定连接，所述泵体底部设置有制冷机，所述第一冷凝翅片组中部安装有第二级冷头，所述真空罩下方安装有第一级冷头，所述第二级冷头、第一级冷头和制冷机依次密封连通，所述制冷机一侧安装有泄压阀和制冷机驱动器，该低温真空泵能够获得和维持洁净无油的高真空及超高真空，结构紧凑，安装方便可靠，维护方便。

技术领域

本发明涉及一种泵体技术领域，特别是涉及一种低温真空泵。

背景技术

低温真空泵指的是利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。随着微电子技术、半导体工业和空间模拟技术等现代科技和工业的发展，对高洁净度的无污染工作环境的要求越加迫切。电子工业和真空镀膜工业，尤其是半导体微电子技术，半导体和集成电路工艺技术要求能获得无油的真空环境。

传统的“油泵”真空系统，无论从洁净的要求还是极限真空度的要求来看，都不能满足要求。研究指出，在现有可用的获得高真空的方法中，离子泵的理论真空极限为10-9Pa，分子泵为10-8 Pa，低温泵为10-18 Pa。可见，低温泵是所有真空泵中能获得真空度最高的也是最清洁的真空泵。

低温冷凝真空泵的工作原理就是当气体分子入射到温度足够低的固体表面时，会被冷凝吸附于该低温表面，以至蒸气压力降得很低，从而获得高真空（10-7-10-11Pa）。早在上世纪50年代末期，由于空间模拟、高速风洞和高能加速器等研究的需要，使采用低温液体冷源的低温真空泵获得发展。1965年以后，小型封闭循环低温制冷机的问世，为低温泵的进一步发展和应用开辟了新路。从此，采用低温制冷机作为冷却源的低温冷凝真空泵走向大规模的工业应用。低温抽气就是在低温下使被抽空间内的气体被低温表面冷凝凝聚、捕集吸附，从而使被抽空间的压强降低的过程。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种能够获得和维持洁净无油的高真空及超高真空，结构紧凑，安装方便可靠，维护方便的低温真空泵。

为解决上述问题，本发明采用如下技术方案：

一种低温真空泵，包括法兰、泵体、第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组，所述法兰设在泵体顶端，所述法兰与泵体焊接，所述第一冷凝翅片组和第二冷凝翅片组设在泵体内，所述第一冷凝翅片组成水平分布，所述第二冷凝翅片组成垂直分布，所述第二冷凝翅片组外侧安装有真空罩，所述真空罩与泵体固定连接，所述泵体底部设置有制冷机，所述第一冷凝翅片组中部安装有第二级冷头，所述真空罩下方安装有第一级冷头，所述第二级冷头、第一级冷头和制冷机依次密封连通，所述制冷机一侧安装有泄压阀和制冷机驱动器。

进一步的，所述法兰上设置有螺纹孔，方便进行安装。

进一步的，所述第一冷凝翅片组冷却温度为80k，能够进行预冷却。

进一步的，所述第二冷凝翅片组冷却温度为15k，可实现氢的凝结，获得高真空环境。

进一步的，所述制冷机驱动器与制冷机电性连接，保持制冷机驱动方便快捷。

进一步的，所述真空罩按质量份数配比由以下材料制成：聚氨酯硬泡15-20份、膨胀珍珠岩25-30份、矿物棉8-12份、碳纤维4-6份、硬脂酸铝16-20份、硬脂酸钾6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和邻苯二甲酸二乙酯22-28份。