[发明专利]一种水性金刚线硅锭开方液及其应用

权利要求书

1.一种用于金刚砂线切割硅锭的开方液，其组分包括极压剂、表面活性剂、去离子水，其特征在于：所述开方液的组分还包括酯类油性剂、碱、储热材料。

2.如权利要求1所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液，其特征在于：所述开方液按重量份数计算，包括以下各组分，

同时，碱、储热材料在开方液中的含量范围分别为20～35g/L，18～30g/L。

3.如权利要求1或2所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液，其特征在于：所述的极压剂为硼酸酯类极压剂。

4.如权利要求1或2所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液，其特征在于：所述的表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚。

5.如权利要求1或2所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液，其特征在于：所述的酯类油性剂为已二酸二异壬酯、三羟甲基丙烷油酸酯或季戊四醇油酸酯。

6.如权利要求1或2所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液，其特征在于：所述的碱为氢氧化钾或氢氧化钠。

7.如权利要求1或2所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液，其特征在于：所述的储热材料为三水醋酸钠、磷酸氢二钠的十二水盐、六水氯化钙中的一种或几种的组合。

8.一种如权利要求1或2所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液的制备方法，其特征在于：所述的制备方法为，常温下，向去离子水中加入碱、储热材料并搅拌均匀，再加入极压剂、表面活性剂、酯类油性剂，搅拌均匀即得到用于金刚砂线切割硅锭的开方液。

9.一种如权利要求1或2所述的用于金刚砂线切割硅锭的开方液的应用，其特征在于：在所述开方液中，采用直径为100um以上的金刚线对硅锭进行切割开方。