[发明专利]收尘装置

说明书

本申请是原发明专利申请(申请日为2013年09月09日、申请号为201310408002.X，发明名称为“收尘装置”)的分案申请。

技术领域

本发明涉及收尘领域，尤其涉及一种收尘装置。

背景技术

化学气相沉积过程是在真空状态下，气体通入到炉内，在真空的状态下沉积，设备一般会连接真空泵，真空泵对设备抽真空产生一定的负压。目前采用化学气相沉积方法生产各种材料的过程中一般会产生大量的粉尘，若粉尘处理不当不但会沉积到产品里面，使产品的性能降低，品质不达标，而且因化学气相沉积过程一般是真空状态，在设备的后面一般会连接机械泵，粉尘一旦进入到机械泵里面会严重影响机械泵的使用寿命，更重要的是通过机械泵抽过来的粉尘不便于收集，可能导致整个系统瘫痪，无法使用。

发明内容

鉴于背景技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种收尘装置，其能有效地去除粉尘。

本发明的另一目的在于提供一种收尘装置，其能更好地保护价格昂贵的机械泵和恒压真空泵。

为了实现上述目的，本发明提供了一种收尘装置，其包括：主过滤器，连接于产尘装置的出气管以接收来自产尘装置的粉尘，主过滤器在下游端设有连接口；次过滤器，设置在主过滤器的下方，通过连接管与主过滤器下游端的连接口连接；两个平行过滤器，底部通过三通连接管分别与次过滤器的上端连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器，以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器的上部，以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。

本发明的有益效果如下：

本发明的收尘装置经过三级收尘之后可有效地去除粉尘；当产尘装置为化学气相沉积炉时，能够解决化学气相沉积过程中由于粉尘造成的一系列问题；操作简单；根据生产过程时间的长短以及粉尘的多少可以实现方便更换或者清洁，还能更好地保护价格昂贵的机械泵和恒压真空泵。

附图说明

图1为根据本发明的收尘装置的结构示意图；

图2为图1的虚线圆圈部分的放大图。

其中，附图标记说明如下：

1主过滤器6恒压真空泵

11连接口 7控制组件

12真空正压安全阀 71脉冲电磁阀

13备用口 72差压变送器

14单板 73压力变送器

15挡板 8气体处理装置

16测温口 9防腐风机

2次过滤器10产尘装置

3平行过滤器101出气管

31壳体 S反吹用气体源

32主反吹管 V1-V15阀门

33分反吹管 P1、P2、P3、P1'、P2'、P3'线路

34滤芯骨架 T1连接管

35布袋 T2三通连接管

36滤布 E端口

4收尘桶

5机械泵

具体实施方式

下面参照附图来详细说明根据本发明的收尘装置。

参照图1，根据本发明的收尘装置包括：主过滤器1，连接于产尘装置10的出气管101以接收来自产尘装置10的粉尘，主过滤器1在下游端设有连接口11；次过滤器2，设置在主过滤器1的下方，通过连接管T1与主过滤器1下游端的连接口11连接；两个平行过滤器3，底部通过三通连接管T2分别与次过滤器2的上部连接并分别与次过滤器2受控连通，两个平行过滤器3的一个平行过滤器3为备用，以在两个平行过滤器3中的另一个平行过滤器3不能正常工作时，该备用的平行过滤器3启动并工作；三个收尘桶4，分别安装于次过滤器2与两个平行过滤器3的下方，并分别受控连通于次过滤器2与两个平行过滤器3，以用于收集次过滤器2与两个平行过滤器3里面的粉尘；以及机械泵5，受控连通于两个平行过滤器3的上部，以接收从两个平行过滤器3中的正常工作的平行过滤器3排出的气体并向外排出。