[发明专利]投影光学系统

权利要求书

1.一种投影光学系统，从缩小侧起依次包括第1光学组和第2光学组，所述第1光学组包括多个透镜，具有正的光焦度，所述第2光学组包括一个具有凹面非球面形状的反射面，所述投影光学系统的特征在于，

所述第1光学组包括以最宽的空气间隔为界在缩小侧的第1-1透镜组和在放大侧的第1-2透镜组，所述第1-1透镜组具有正的光焦度，所述第1-2透镜组具有比所述第1-1透镜组的光焦度弱的正光焦度或负光焦度，

所述第1-2透镜组具有放大侧固定透镜组和在伴随变倍的对焦时沿光轴方向移动的至少一个移动透镜组，所述放大侧固定透镜组配置在最靠放大侧，并且，在伴随变倍的对焦时被固定，包括具有至少一个非球面的多个透镜。

2.根据权利要求1所述的投影光学系统，其特征在于，

所述第1-2透镜组中的所述放大侧固定透镜组包括两个负透镜，在放大侧配置有由树脂形成的非球面透镜。

3.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其特征在于，

所述第1-2透镜组具有在伴随变倍的对焦时分别独立地移动的多个透镜组来作为所述移动透镜组。

4.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其特征在于，

所述第1-1透镜组在内部具有孔径光阑，在与所述孔径光阑相比靠放大侧，从缩小侧起依次包括凸面朝向放大侧的正透镜和凹面朝向放大侧的负弯月透镜这2个透镜。

5.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其特征在于，

所述第1-1透镜组在内部具有孔径光阑，在所述孔径光阑的缩小侧包括至少两组的正透镜和负透镜的接合透镜，并且，至少在放大侧具有凹面形状的非球面。

6.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其特征在于，

物体侧的数值孔径为0.3以上。

7.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其特征在于，

缩小侧为大致远心。

8.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其特征在于，

构成所述第1光学组和所述第2光学组的要素都为旋转对称系统。

9.根据权利要求1或2所述的投影光学系统，其特征在于，

变倍范围为1.5倍以上。