[发明专利]搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种搬运装置。

背景技术

在马达等工业产品的制造工序中，使用一种一边在搬运方向上搬运对象物体一边按顺序进行零件的组装、检查等处理的模块式自动机。在这种模块式自动机中，为了提高产品的生产效率，需要一种向搬运方向连续地、高效地搬运多个对象物体的搬运技术。并且，需要一种能够高效地实现以下的复杂动作的搬运技术：将搬运路径内的对象物体暂时搬出至搬运路径外的处理室，并再次返回搬运路径，然后向搬运方向搬运。

关于以往的搬运技术，例如被记载于日本公开公报2005-189775号公报中。在该公报所述的曝光装置的搬运技术中，在分开的两台X轴移动台的背面分别安装有线性引导装置。并且，两台X轴移动台被支承为能够沿导轨在X轴方向上移动。另外，各X轴移动台都平行地配置有专用的导轨，将左侧的X轴移动台专用的导轨在基座上沿X轴方向平行地配置，并且使右侧的X轴移动台专用的导轨位于左侧的X轴移动台专用的导轨的外侧且在基座上沿X轴方向平行地设置(参照段落0010、0020和图3)。

并且，在日本公开公报2005-189775号公报中，在Y轴移动台的背面也安装有线性引导装置，Y轴移动台被支承为能够沿导轨在Y轴方向上移动。由此，基板工作台的X轴和Y轴这两个轴能够移动。(参照段落0026和图6)。

但是，在日本公开公报2005-189775号公报的技术中，基座和导轨这两方为错综复杂的结构。并且，为了在搬运方向上搬运对象物体，需要准备两种基座。因此，如果将该搬运技术应用于连续进行多个处理的模块式自动机的话，则搬运系统的结构变得复杂。因此，需要能够通过在搬运方向上排列同一种搬运装置来建立搬运系统。

并且，在日本公开公报2005-189775号公报的技术中，仅对基座设置有一个单元的线性引导装置。因此，在X轴方向的搬运时，线性引导装置的往返动作需要时间。因此，如果能够提高该线性引导装置的往返动作的效率，则能够缩短对象物体的搬运时间，能够进一步提高生产效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种通过在搬运方向排列同一种搬运装置而能够容易地构成搬运系统，并能够缩短搬运时间的技术。

本申请的例示性的第一方面为一种搬运装置，其在搬运方向上搬运对象物体，具有：两个第一移动机构，它们使所述对象物体在搬运方向上移动；以及控制部，其控制所述第一移动机构，所述搬运装置的特征在于，所述两个第一移动机构以与搬运方向平行地移动的方式配置，所述控制部分别单独或者同时控制所述两个第一移动机构。

根据本申请的例示性的第一方面，由于两个第一移动机构能够单独地驱动，因此能够在搬运方向上高效地搬运多个对象物体。并且，不需要搬运装置间的复杂的引导结构，仅通过并列设置相同的搬运装置，就能够任意地增减搬运路径。

本申请的例示性的第二方面为根据本发明的例示性的第一方面所述的搬运装置，其特征在于，所述控制部通过所述两个第一移动机构中的一个所述第一移动机构使所述对象物体移动至搬运方向下游侧之后，通过所述两个第一移动机构中的另一个所述第一移动机构使所述对象物体进一步向搬运方向下游侧移动。

本申请的例示性的第三方面为根据本发明的例示性的第二方面所述的搬运装置，其特征在于，所述第一移动机构具有：第一保持机构，其保持所述对象物体；以及第一运转机构，其使所述第一保持机构沿搬运方向移动。

本申请的例示性的第四方面为根据本发明的例示性的第三方面所述的搬运装置，其特征在于，所述第一保持机构通过在与搬运方向正交的上下方向上的移动来切换所述对象物体的保持状态与解除状态。

本申请的例示性的第五方面为根据本发明的例示性的第四方面所述的搬运装置，其特征在于，所述对象物体具有第一凹部，所述第一保持机构具有第一凸部，通过所述第一凸部插入所述第一凹部来保持所述对象物体。

本申请的例示性的第六方面为根据本发明的例示性的第一方面所述的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置还具有第二移动机构，所述第二移动机构使所述对象物体在与搬运方向和水平方向正交的搬出方向上移动，所述控制部还控制所述第二移动机构。

本申请的例示性的第七方面为根据本发明的例示性的第六方面所述的搬运装置，其特征在于，所述第二移动机构具有：第二保持机构，其保持所述对象物体；以及第二运转机构，其使所述第二保持机构沿搬出方向移动，所述第二运转机构具有至少一个第二运转部。