[发明专利]一种pH值敏感性智能缓蚀剂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610068263.5 申请日: 2016-02-01
公开(公告)号: CN105695996B 公开(公告)日: 2017-12-29
发明(设计)人: 李凌杰;雷惊雷;许雯婷;张新芳;文家新;潘复生 申请(专利权)人: 重庆大学
主分类号: C23F11/18 分类号: C23F11/18;C23F11/173;C08F120/58;C08F120/54;C08G63/08
代理公司: 重庆博凯知识产权代理有限公司50212 代理人: 张先芸
地址: 400044 *** 国省代码: 重庆;85
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摘要:
搜索关键词: 一种 ph 敏感性 智能 缓蚀剂 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种pH值敏感性智能缓蚀剂的制备方法,其特征在于,将物质A溶于1升纯水中、进而调节溶液pH值至8,使用搅拌器以1500转/分钟的转速对溶液进行强烈搅拌,同时将溶液升温至70℃,然后在通入氮气条件下加入缓蚀组分和物质B,持续强烈搅拌2小时后加入物质C,反应20小时后冷却至15℃,然后加入物质D的水溶液,超声混匀2小时,45°下真空干燥12小时,即得pH值敏感性智能缓蚀剂;

其中,所述物质A为2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸钠和羟乙基磺酸铵中的一种,加入量为3~5克;

所述物质B为N-异丙基丙烯酰胺或D-乳酸中的一种,加入量为15~30克;

所述物质C为过硫酸钠或过硫酸铵中的一种,加入量为0.5~2克;

所述物质D为聚丙烯亚胺或聚邻苯二甲酰亚胺中的一种,其水溶液浓度为10~20克/升,体积为3~5毫升;

所述缓蚀组分为硅酸钠、钨酸钠、钼酸钠、硝酸铈、硝酸镧、尿素、硫脲、乌洛托品中的一种,加入量为物质B的25~30 wt%。

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