[发明专利]一种超高纯涂层石英坩埚的制作方法

权利要求书

1.一种超高纯涂层石英坩埚的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)选取粒度0.2mm-0.6mm的超高纯石英砂，加入超高纯石英砂重量10％-40％的去离子水，放入球磨机中球磨，制成浆料；所述粒度0.2mm-0.6mm的超高纯石英砂按重量百分比计由以下不同粒径颗粒组成：粒径大于500μm的10％-35％，粒径300μm-500μm的50％-70％，粒径小于300μm的10％-35％；

(2)将步骤(1)制备的浆料、粒度0.15mm-0.05mm的超高纯石英砂和硅溶胶混合，充分搅拌0.5-2小时后，制成超高纯料浆；

所述粒度0.15mm-0.05mm的超高纯石英砂按重量百分比计由以下不同粒径颗粒组成：粒径大于106μm的22％-60％，粒径106μm-75μm的30％-50％，粒径小于75μm的3％-40％；

(3)将步骤(2)制备的超高纯料浆涂覆在石英坩埚的内表面，涂层厚度为0.1mm-0.3mm，室温自然干燥1-2小时后，放置到温度为80℃-150℃的干燥炉中干燥1-3小时得超高纯涂层石英坩埚；对所得超高纯涂层石英坩埚涂覆氮化硅涂层。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述超高纯石英砂的纯度≥99.9999％。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：步骤(1)中球磨后的浆料粒度在6μm-15μm。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：步骤(1)制备的浆料∶粒度0.15mm-0.05mm的超高纯石英砂∶硅溶胶的重量比＝(1-4)∶(1-3)∶1。