[发明专利]一种基于长周期光纤光栅的氢气传感装置在审
| 申请号： | 201610028101.9 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN105527249A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 严洒洒;沈常宇;王友清;包立峰;楼伟民;申屠锋营 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 周期 光纤 光栅 氢气 传感 装置 | ||
1.一种基于长周期光纤光栅的氢气传感装置，其特征在于：由宽带光源(1)、入射光纤(2)、 长周期光纤光栅(3)、氢敏感薄膜(4)、恒温气室(5)、气体产生装置(6)、排气口(7)、 出射光纤(8)、光谱分析仪(9)组成；宽带光源(1)发出的光束耦合到入射光纤(2)，入 射光纤(2)的出射光束耦合到长周期光纤光栅(3)，长周期光纤光栅(3)的出射光束耦合 到出射光纤(8)，出射光纤(8)与光谱分析仪(9)相连；长周期光纤光栅(3)的一侧溅镀 氢敏感薄膜(4)，置于恒温气室(5)中；气体产生装置(6)包括第一储气罐(10)、第二储 气罐(11)、第一流量计(14)、第二流量计(15)和热交换器(18)，第一储气罐(10)经第 一气体流道(12)与第一流量计(14)相连，第一流量计(14)经第一进气管道(16)与热 交换器(18)相连，第二储气罐(11)经第二气体流道(13)与第二流量计(15)相连，第 二流量计(15)经第二进气管道(17)与热交换器(18)相连，热交换器(18)经输气管道 (19)与恒温气室(5)相连；排气口(7)位于恒温气室(5)的右上方。
2.根据权利要求1所述的一种基于长周期光纤光栅的氢气传感装置，其特征在于，所述的长 周期光纤光栅(3)由电弧放电或紫外激光器制成，周期为200μm～700μm，光栅长度为20mm； 采用磁控溅射法在长周期光纤光栅(3)一侧溅射氢敏感薄膜(4)，具体为膜厚25nm～400nm 的钯薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种基于长周期光纤光栅的氢气传感装置，其特征在于，所述的第 一储气罐(10)内装有纯氮气，第二储气罐(11)内装有含有4％氢气含量的氮气。
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