[发明专利]一种对位标记结构、掩模板、基板以及对位方法

权利要求书

1.一种对位标记结构，应于掩膜板和基板上，所述掩模板具有图形区和 包围图形区的非图形区，其特征在于，包括：

设置于掩模板上的至少两个第一对位标记和至少两个第二对位标记，所述 第一对位标记的图形尺寸大于所述第二对位标记的图形尺寸；

设置于基板上的至少两个第三对位标记和至少两个第四对位标记，所述第 三对位标记和所述第一对位标记的数量和位置一一对应，所述第四对位标记和 所述第二对位标记的数量和位置一一对应。

2.如权利要求1所述的对位标记结构，其特征在于，所述第一对位标记 位于所述非图形区的远离所述图形区的区域，所述第二对位标记位于所述非图 形区的靠近所述图形区的区域。

3.如权利要求2所述的对位标记结构，其特征在于，所述第一对位标记 和所述第二对位标记的数量分别为四个，四个所述第一对位标记的连线所构成 的矩形的对称轴与所述掩膜板的对称轴重合；四个所述第二对位标记的连线所 构成的矩形的对称轴与所述掩膜板的对称轴重合。

4.如权利要求3所述的对位标记结构，其特征在于，四个所述第一对位 标记的连线所构成的矩形的对角线与所述掩模板的对角线重合。

5.如权利要求1所述的对位标记结构，其特征在于，所述第一对位标记 的图形尺寸大于或等于所述第三对位标记的图形尺寸。

6.如权利要求5所述的对位标记结构，其特征在于，所述第一对位标记 的图形的最大宽度小于或等于0.5mm，所述第三对位标记的图形的最大宽度小 于或等于0.3mm。

7.如权利要求1所述的对位标记结构，其特征在于，所述第二对位标记 的图形尺寸大于或等于所述第四对位标记的图形尺寸。

8.如权利要求7所述的对位标记结构，其特征在于，所述第二对位标记 的图形的最大宽度小于或等于所述图形区内像素图形的宽度的2倍，所述第四 对位标记的图形的最大宽度小于或等于所述图形区内像素图形的宽度的1.5 倍。

9.如权利要求1所述的对位标记结构，其特征在于，所述第三对位标记 的图形尺寸大于所述第四对位标记的图形尺寸。

10.如权利要求1所述的对位标记结构，其特征在于，所述第三对位标记 和所述第四对位标记的图形不相同。

11.如权利要求1所述的对位标记结构，其特征在于，所述第一对位标记 的图形为圆形、正方形、长方形、三角形或十字形的一种；所述第二对位标记 为圆形、正方形、长方形、三角形或十字形的一种；所述第三对位标记为圆形、 正方形、长方形、三角形或十字形的一种；所述第四对位标记为圆形、正方形、 长方形、三角形或十字形的一种。

12.一种掩模板，具有图形区和包围所述图形区的非图形区，其特征在于， 所述掩模板上设置有至少两个第一对位标记和至少两个第二对位标记，所述第 一对位标记的图形尺寸大于所述第二对位标记的图形尺寸；

所述第一对位标记，用于与基板上的第三对位标记进行第一次对位，所述 第一对位标记和所述第三对位标记的数量和位置一一对应；

所述第二对位标记，用于与基板上的第四对位标记进行第二次对位，所述 第二对位标记和所述第四对位标记的数量和位置一一对应。

13.一种基板，用于与权利要求12所述的掩模板对位，其特征在于，所 述基板上设置有至少两个第三对位标记和至少两个第四对位标记，所述第三对 位标记和所述第一对位标记的数量和位置一一对应，所述第四对位标记和所述 第二对位标记的数量和位置一一对应。

14.一种掩膜板和基板的对位方法，采用如权利要求1至11任一项所述 的对位标记结构，其特征在于，

利用低倍图像传感器将所述掩模板上的各个所述第一对位标记与所述基 板上的各个所述第三对位标记一一对应的对位，完成所述掩模板和所述基板 的第一次对位；

利用高倍图像传感器将所述掩模板上的各个所述第二对位标记与所述基 板上的各个所述第四对位标记一一对应的对位，完成所述掩模板和所述基板 的第二次对位。