[发明专利]一种阻性复合传感器阵列的读出电路及其读出方法

说明书

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种阻性复合传感器阵列的读出电路及其读出方法。

背景技术

阵列式传感装置就是将具有相同性能的多个传感元件，按照二维阵列的结构组合在一起，它可以通过检测聚焦在阵列上的参数变化，改变或生成相应的形态与特征。这个特性被广泛应用于生物传感、温度触觉和基于红外传感器等的热成像等方面。

阻性传感阵列被广泛应用于红外成像仿真系统、力触觉感知与温度触觉感知。以温度触觉为例，由于温度觉感知装置中涉及热量的传递和温度的感知，为得到物体的热属性，装置对温度测量精度和分辨率提出了较高的要求，而为了进一步得到物体不同位置材质所表现出的热属性，则对温度觉感知装置提出了较高的空间分辨能力要求。

阻性传感阵列的质量或分辨率是需要通过增加阵列中的传感器的数量来增加的。然而，当传感器阵列的规模加大，对所有元器件的信息采集和信号处理就变得困难。一般情况下，要对一个M×N阵列的所有的阻性传感器的进行逐个访问，而每个阻性传感器具有两个端口，共需要2×M×N根连接线。这种连接方式不仅连线复杂，而且每次只能选定单个待测电阻，扫描速度慢，周期长，效率低。为降低器件互连的复杂性，可以引入共用行线与列线的二维阵列，将扫描控制器与单个运算放大电路和多路选择器结合，尽管如此，还是只能实现单个待测电阻的测量，因此如何在每次扫描中同时选取多个待测电阻就成了一道需要攻克的难题。

关于电阻式传感阵列的检测研究，2006年R.S.Saxena等人提出了基于红外热成像的阵列检测技术，测试结构是基于电阻传感网络配置，基于电阻的线性与齐次性使用补偿网络定理和叠加网络定理开发了该电阻网络的理论模型。使用16×16阵列网络热辐射计阵列验证，仅使用32个引脚，已经证实，该模型针对器件损坏或器件值的微小变化都可以有效分辨，它具有一定精度，但是在检测速度上依然存在技术缺陷。2009年Y.J.Yang等人提出了一个32×32阵列的温度和触觉传感阵列，用于机械手臂的人造皮肤，在阵列网络中加入多路选择器，行选择与列选择速度大大加快，最大检测速率能够达到每秒3000个传感单元，但该阵列的检测每次也只能检测单个待测单元，检测效率成为最大的技术瓶颈。

一篇中国发明专利(CN201110148963.2)公开了一种阵列式温度触觉传感装置，采用电阻传感阵列实现温度触觉的传感，其反馈驱动隔离电路将待测电阻所在行的电压经行选择器后的端电压VSG反馈回非选定行线与列线，虽然对精度有一定程度改善，但并未在检测速度上有所突破。另有中国发明专利CN201410183065《一种增强电压反馈的阻性传感阵列的检测电路》，它在专利CN201110148963.2的基础上将扫描控制器、反馈电路、行多路选择器及列多路选择器结合，其中反馈电路由单个运算放大器及分压电路组成，分压电路中电阻R1与电阻R2选用特定阻值的电阻，将电阻R1与电阻R2的比值限定为R1∶R2＝Rr∶Rs，其中，Rr表示行多路选择器的通道内阻，Rs表示采样电阻。该方法虽然可以有效减小待测电阻的相邻列电阻和列多路选择器的内阻对被测电阻测量的干扰，显著提高其测量精度，但依然每次只能选定单个待测电阻，所以在检测速度上，还需要更进一步的改进提高。

随着传感器技术的发展，目前出现了一类阻性复合传感器，每一个传感器由多个二端阻性敏感单元构成，可同时对多个相同或不同的物理量进行检测。对于由此类阻性复合传感器所组成的传感器阵列，如采用传统的电压反馈法进行扫描测量，同样单次测量只能获得单个阻性敏感单元的电阻，检测速度较低。此外，由于传感器阵列中的阻性敏感单元数量更大，由此也带来了组阵所需的连线数量过多，复杂度过高的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术不足，提供一种阻性复合传感器阵列的读出电路及其读出方法，针对由阻性复合传感器所构成的二维阵列，基于双电压反馈法，提高单次检测所能读取的阻性敏感单元的数量，从而提高检测速度，同时有效降低传感系统的复杂度。

本发明具体采用以下技术方案解决上述技术问题：