[发明专利]闪烁体

权利要求书

1.用于X射线的改进闪烁体，其包括

衬底板层(1)，

闪烁体层(2)，以及

第一防潮层(5)，

其特征在于，所述第一防潮层具有10nm-1000nm的厚度、是气密的并且具有高密度，并且在于

所述第一防潮层包括各自单独地具有0.5nm-100nm的厚度的两个或更多个层，或包括两个或更多个混合层，或其组合，其中至少一个后续层不同于先前层。

2.根据权利要求1所述的闪烁体，其中所述板层(1)选自铝板、光纤板和碳板。

3.根据权利要求2所述的闪烁体，其中所述闪烁体材料选自结晶CsI和TlI，诸如掺杂的或未掺杂的CsI。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的闪烁体，其中所述闪烁材料是柱式结构。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的闪烁体，其中所述第一防潮层(5)包括3-50个层，并且

其中所述第一防潮层具有20nm-500nm的厚度。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的闪烁体，其中所述闪烁体层覆盖有粘附层(3)。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的闪烁体，其还包括所述闪烁体层上的平整层(4)、第一保护层(6)、第二保护层(9)和第二防潮层(8)中的一个或多个，并且

其中所述平整层所具有的厚度是所述闪烁体层的厚度的1-5％。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的闪烁体，其中所述第一防潮层(5)和任选的第二防潮层(8)包括多层，每层包括单独地选自金属、金属氧化物、金属氮化物的材料。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的闪烁体，其中所述粘附层(3)包括选自饱和直链和支链硅氢化合物(Si_nH_2n+2)的材料。

10.根据权利要求7-9中任一项所述的闪烁体，其中所述平整层(4)包括选自芳族聚合物的材料。

11.根据权利要求7-10中任一项所述的闪烁体，其中所述第一保护层(6)和任选的第二保护层(9)包括各自单独地选自芳族聚合物的材料。

12.根据权利要求1-11中任一项所述的闪烁体用于非破坏性应用、(辅助)医疗应用和整形外科的用途。

13.X射线检测器，其包括根据权利要求1-11中任一项所述的闪烁体和传感器(10)。

14.生产根据权利要求1-11中任一项所述的改进闪烁体的方法，其包括以下步骤：

提供衬底板层(1)和闪烁体层(2)，以及

通过使用原子层沉积来沉积第一气密高密度防潮层(5)，其中所述第一气密阻挡层具有10nm-1000nm的厚度、是气密的并且具有高密度，并且

所述第一防潮层包括各自单独地具有0.5nm-100nm的厚度的两个或更多个层，或包括两个或更多个混合层，或其组合，其中至少一个后续层不同于先前层。

15.根据权利要求14所述的方法，其还包括沉积粘附层(3)的步骤。