[发明专利]半自动探针器

权利要求书

1.一种晶圆探针台，其包括能够接纳从多个不同的可互换模块中选择的模块的接口，其中，每个模块均被构造成用于使至少一个探针卡与晶圆接口连接，其中，模块能够被更换为不同模块，其中，所述多个不同的可互换模块包括不同类型的模块，所述不同类型的模块包括被构造成使所述至少一个探针卡与所述晶圆对准的探针定位器，其中，所述探针定位器能够使所述至少一个探针卡沿三个X、Y、Z轴线线性地运动以及绕所述Z轴线旋转地运动，所述不同类型的模块包括用于测试所述晶圆上的多个晶粒且用于支撑探针卡的空气冷却的轨组件，并且所述不同类型的模块包括用于4.5 x 6探针卡的转接器，并且其中每种类型模块的功能都与其他类型模块的功能不同，

所述晶圆探针台进一步包括：

卡盘；

和旋转臂，其包括第一部段和第二部段以支撑所述晶圆，其中，所述臂被构造成旋转且从所述晶圆探针台的前表面中的开口枢转出去，使得所述第一部段和所述第二部段在晶圆探针台外部，以在所述第一部段的端面和所述第二部段的端面上接纳所述晶圆及所述臂还被构造成旋转且枢转到所述晶圆探针台中以将所述晶圆装载到所述卡盘的表面，使得所述臂完全在所述晶圆探针台之内，其中，所述第一部段和所述第二部段被构造成在将所述晶圆装载到所述卡盘的所述表面之后从所述晶圆和所述卡盘缩回。

2.根据权利要求1所述的晶圆探针台，其中，所述探针定位器具有用于在所述晶圆的测试期间将探针卡垂直地定位在所述晶圆上方的臂。

3.根据权利要求1所述的晶圆探针台，其中，所述定位器是基于磁性或真空的定位器。

4.根据权利要求1所述的晶圆探针台，其中，所述轨组件能够安置多个单独可调整的探针头。

5.根据权利要求4所述的晶圆探针台，其中，所述轨组件在所述晶圆的测试期间将所述探针卡垂直地定位在所述晶圆上方。

6.根据权利要求1所述的晶圆探针台，其中，所述晶圆探针台能够在所述晶圆探针台中在高达大约300℃温度下实现在晶圆上的准确置放，所述晶圆探针台进一步包括：

用于检测和测量所述晶圆上的晶粒的间隔的图像处理器；以及

数据库，通过检测和测量在预定温度下晶粒的间隔并且在所述数据库中保存对于每个预定温度的测量的间隔来生成所述数据库，以确定对于每个预定温度的偏差量。

7.根据权利要求1所述的晶圆探针台，其进一步包括NIST可追踪参考玻璃掩模网格，其中，所述玻璃掩模网格上的X和Y坐标被校准以确定接触垫的准确位置从而将探针针头定位在所述晶圆上的接触垫上。

8.根据权利要求7所述的晶圆探针台，其中，所述X和Y坐标通过收集所述晶圆上的数据点的信息以确定偏差并且校正确定的所述偏差被校准，其中，所述偏差是在所述接触垫被认为的所处位置和其实际已经由于温度改变或卡盘运动而移到的位置之间的差异。

9.一种具有腔室的前端装载晶圆探针台，其包括：

可在测试位置和装载位置之间运动的卡盘，其中，所述测试位置和所述装载位置在所述腔室内，

枢转臂，其中，所述臂被构造成旋转且从所述晶圆探针台的前表面中的开口枢转出去，使得第一部段和第二部段在晶圆探针台外部，以在所述第一部段的端面和所述第二部段的端面上接纳所述晶圆及所述臂还被构造成旋转且枢转到所述晶圆探针台中以将所述晶圆装载到所述卡盘的表面，使得所述臂完全在所述晶圆探针台之内；和

两个晶圆支撑部段，其中，每个晶圆支撑部段均被可旋转地安装在所述枢转臂上，其中，所述晶圆支撑部段可在所述腔室内的位置和至少部分地位于所述腔室外的位置之间运动，并且其中，所述晶圆支撑部段处于所述腔室内的位置时能够远离彼此且不妨碍卡盘地旋转。

10.根据权利要求9所述的前端装载晶圆探针台，其中，所述晶圆支撑部段可运动到至少部分地位于所述晶圆探针台的前面中的开口之外的位置。