[发明专利]波纹管泵装置

说明书

提供一种波纹管泵装置，即使是已经设置的波纹管泵，也能够容易地抑制在从工作流体的吸入向排出切换时所产生的冲击压力。波纹管泵装置对密闭的2个空气室(21、26)中的一个空气室(26)供给加压空气，由此使波纹管(13、14)进行伸长动作而将转送流体吸入，对另一个空气室(21)供给加压空气，由此使波纹管(13、14)进行收缩动作而将转送流体排出。该波纹管泵装置具有：电动气压调节器(51、52)，其对向一个空气室(26)供给的加压空气的第1空气压力、以及向另一个空气室(21)供给的加压空气的第2空气压力进行调整；以及控制部(6)，其以下述方式对电动气压调节器(51、52)进行控制，即，在波纹管(13、14)的伸长动作时的至少伸长结束时刻，使得第1空气压力低于第2空气压力。

技术领域

本发明涉及一种波纹管泵装置。

背景技术

在半导体制造、化学工业等中，作为用于转送供给药液、溶剂等转送流体的波纹管泵，例如，已知如专利文献1记载的那样构成的如下波纹管泵，即，对密闭的2个空气室中的一个空气室供给加压空气，由此使波纹管进行伸长动作而将转送流体吸入，对另一个空气室供给加压空气，由此使波纹管进行收缩动作而将转送流体排出。

在这种波纹管泵中，为了使转送流体的排出流量增加，通常提高对各空气室供给的加压空气的空气压力。然而，如果提高所述空气压力，则在从通过波纹管的伸长动作而实现的转送流体的吸入切换为通过波纹管的收缩动作而实现的转送流体的排出时，在瞬间内产生较大的压力变动(压力升高)，产生被称为“水锤”的冲击压力。如果产生该冲击压力，则由该冲击压力引起的振动向泵、配管或者仪器传播，可能导致上述泵等破损。另外，因吸入时的负压增大而产生液体的沸腾(水蒸气、气穴等)，还有可能对半导体制造工艺等造成不良影响。

因此，在现有的波纹管泵中，例如，如专利文献2记载的那样，作为抑制所述冲击压力的对策，将能够进行弹性变形的间隔壁设置于波纹管的端部以增加将转送流体吸入的波纹管内的容积。在波纹管内产生压力升高时，该间隔壁进行弹性变形，由此将所述升高的压力吸收而减弱泵等的振动。

专利文献1：日本特开2001-123959号公报

专利文献2：日本特开2010-196541号公报(参照图3)

发明内容

然而，在现有的抑制冲击压力的对策中，需要制作具有能够弹性变形的间隔壁的专用的波纹管，因此难以在已经设置的波纹管泵中采用。

本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于提供一种波纹管泵装置，即使在已经设置的波纹管泵中也能够容易地抑制在从工作流体的吸入向排出切换时所产生的冲击压力。

本发明的波纹管泵装置对密闭的2个空气室中的一个空气室供给加压空气，由此使波纹管进行伸长动作而将转送流体吸入，对另一个空气室供给加压空气，由此使所述波纹管进行收缩动作而将转送流体排出，所述波纹管装置的特征在于，具有：电动气压调节器，其对作为向所述一个空气室供给的加压空气的空气压力的第1空气压力、以及作为向所述另一个空气室供给的加压空气的空气压力的第2空气压力进行调整；以及控制部，其以下述方式对所述电动气压调节器进行控制，即，在所述波纹管的伸长动作时的至少伸长结束时刻，使得所述第1空气压力低于所述第2空气压力。

根据以上述方式构成的波纹管泵装置，利用电动气压调节器以下述方式进行调整，即，至少在波纹管的伸长结束时刻，使得在该波纹管伸长时向一个空气室供给的加压空气的第1空气压力低于在波纹管的收缩时向另一个空气室供给的加压空气的第2空气压力。由此，能够抑制从通过波纹管的伸长动作实现的转送流体的吸入向通过波纹管的收缩动作实现的转送流体的排出切换时的压力变动，因此能够抑制在该切换时产生冲击压力。另外，即使是已经设置的波纹管泵，通过追加电动气压调节器和控制部，也能够容易地抑制在从工作流体的吸入向排出切换时所产生的冲击压力。