[发明专利]气体分析系统的超稳定谐振腔

权利要求书

1.一种检测存在于气态或液态介质中的一个或多个被分析物种类的装置，所述装置包括：

由第一材料制成的光学谐振腔体结构，所述第一材料包括玻璃或玻璃陶瓷，所述光学谐振腔体结构具有第一端和第二端，所述光学谐振腔体结构包括入口端，以接收和流动含有一个或多个分析物种类的液态或气态介质通过由第一镜元件和第二镜元件限定的腔区域，并且直接在第一镜元件和第二镜元件之间，还包括出口端，以用于从腔区域排出液态或气态介质；

接近光学谐振腔体结构第一端的第一镜元件；以及

接近光学谐振腔体结构第二端的第二镜元件；

其特征在于第一和第二镜元件由与第一材料的热膨胀系数相同或大致相近的材料制成。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一和第二镜元件由第一材料制成。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一和第二镜元件由不同于第一材料的材料制成。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一材料包括石英玻璃。

5.如权利要求1所述的装置，其进一步包括接近第一端或第二端的第三镜元件，其中第三镜元件由与第一材料的热膨胀系数相同或大致相近的材料制成。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于所述第三镜元件是高反射率镜，在朝向光学谐振腔体结构内侧的表面上具有99％或更高的反射率。

7.如权利要求5所述的装置，其进一步包括接近第一端或第二端的第四镜元件，其中第四镜元件由与第一材料的热膨胀系数相同或大致相近的材料制成。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于所述第四镜元件是高反射率镜，在朝向光学谐振腔体结构内侧的表面上具有99％或更高的反射率。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一和第二镜元件是高反射率镜，各自在朝向光学谐振腔体结构内侧的表面上具有99％或更高的反射率。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于所述第一和第二镜元件是高反射率镜，各自在朝向光学谐振腔体结构内侧的表面上具有99.9％或更高的反射率。

11.一种检测存在于气态或液态介质中的一个或多个被分析物种类的光学谐振腔系统，包括：

由第一材料制成的腔体结构，所述腔体结构具有第一端和第二端；

接近腔体结构第一端的第一镜元件；

接近腔体结构第二端的第二镜元件；

其中，第一镜元件和第二镜元件在它们之间限定腔区域，以及其中第一和第二镜元件由与第一材料的热膨胀系数相同或大致相近的材料制成；

发射激光的第一激光器；

至少一个光学元件，用于将第一激光器的激光通过第一镜元件导入腔区域；以及

发射激光的第二激光器，其中第二激光器的激光由至少一个光学元件通过第二镜元件引导到腔区域中。

12.如权利要求11所述的光学谐振腔系统，其特征在于所述第一材料包括玻璃或玻璃陶瓷。

13.如权利要求11所述的光学谐振腔系统，其特征在于所述第一和第二镜元件由第一材料制成。

14.如权利要求11所述的光学谐振腔系统，其特征在于所述第一和第二镜元件由不同于第一材料的材料制成。

15.如权利要求11所述的光学谐振腔系统，其特征在于所述第一材料包括石英玻璃。

16.如权利要求11所述的光学谐振腔系统，其进一步包括接近第一端或第二端的第三镜元件，其中第三镜元件由与第一材料的热膨胀系数相同或大致相近的材料制成。