[发明专利]激光光源装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种搭载了半导体激光器阵列的激光光源装置，该半导体激光器阵列构成为，阵列状地排列有多个半导体激光器元件。

背景技术

对于激光光源装置，在将电流供给至阵列状地排列有多个半导体激光器元件的半导体激光器阵列时，半导体激光器阵列是激光的振荡源，并且是发出大量热量的发热源。就半导体激光器阵列而言，振荡波长依赖于温度而变化，如果变为高温，则激光输出下降，可靠性也下降。由此，期望设置冷却构造，以使半导体激光器阵列内保持为适当的温度。作为具有上述冷却构造的激光光源装置的结构，例如存在专利文献1所示的结构。

在该专利文献1中，半导体激光器阵列通过焊料等导电膏而接合于具有用于流过冷却水的流路的、称为冷却体的散热器之上。作为散热器的材料，由于需要进行半导体激光器阵列的散热，因此需要导热性优异。另外，为了防止由电蚀(冷却水流路的电气性的腐蚀)所导致的腐蚀的快速加深，需要绝缘性优异。作为具有上述两方面特性的材料，散热器的材料使用的是陶瓷材料。另外，在散热器的整个上表面通过镀敷处理而形成金属镀层，构成供电路径。通过上述结构而将供电路径和冷却水流路分离，防止电蚀。

专利文献1：日本特开2009－64932号公报

发明内容

但是，就专利文献1那样的激光光源装置而言，如上所述在散热器(冷却体)的整个表面形成的镍－金镀层成为供电路径。在这里，在需要大电流、例如几十A的半导体激光器阵列的情况下，由于供电路径即整个表面的镀层的配线电阻大，因此镀层自身也会发热。由此，半导体激光器阵列温度上升，其结果，激光输出可能下降。

本发明就是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种激光光源装置，该激光光源装置能够降低半导体激光器阵列的温度上升，并且防止电蚀，实现长期可靠性的提高。

为了实现所述目的，本发明以下述方式构成。

即，本发明的一个方案的激光光源装置具有阵列状地排列有多个半导体激光器元件的半导体激光器阵列，该激光光源装置的特征在于，具有：板状的散热器；载体基板，其由具有电气绝缘性的材料制作，载置于所述散热器的一个端缘，该载体基板具有供电路径，将所述半导体激光器阵列安装于该供电路径；绝缘板，其在所述散热器之上载置于除所述载体基板以外的范围，由具有电气绝缘性的材料制作；第1电极板，其安装于所述绝缘板；第2电极板，其与所述第1电极板分离地安装于所述绝缘板，配置为将所述第1电极板的上方覆盖；以及金属线，其分别将所述第1电极板和所述载体基板之间、以及所述第2电极板和所述半导体激光器阵列之间电连接。

发明的效果

根据本发明的一个方案的激光光源装置，在散热器的一个端缘载置载体基板，在该载体基板安装半导体激光器阵列，第1及第2电极板各自隔着绝缘板安装于散热器之上。另外，第1电极板与载体基板、以及第2电极板与半导体激光器阵列分别经由金属线电连接。因此，与半导体激光器阵列电连接的供电路径比现有技术小，能够防止或者降低由配线电阻所引起的半导体激光器阵列过热。并且，半导体激光器阵列配置于具有电气绝缘性的载体基板，并且第1及第2电极板各自隔着具有电气绝缘性的绝缘板而接合于散热器之上，供电路径以不经由散热器的方式构成。通过隔着绝缘板、载体，从而将供电路径和冷却水分离。

因此，能够将向半导体激光器阵列的供电路径和冷却水流路分离，能够防止冷却水流路的电蚀(腐蚀)。由此，能够实现激光光源装置的长期可靠性的提高，并且能够长期使用。

附图说明

图1A是表示本发明的实施方式1所涉及的激光光源装置的概况的斜视图。

图1B是图1A所示的激光光源装置的概况的剖视图。

图1C是图1A所示的激光光源装置的概况的剖视图。

图2是表示激光光源模块的概况的斜视图，该激光光源模块构成图1A所示的激光光源装置。

图3A是表示本发明的实施方式2所涉及的激光光源装置的概况的斜视图。

图3B是图3A所示的激光光源装置的概况的剖视图。

图4A是表示本发明的实施方式3所涉及的激光光源装置的概况的斜视图。

图4B是图4A所示的激光光源装置的概况的剖视图。

图5是表示激光光源模块的概况的斜视图，该激光光源模块构成图4A所示的激光光源装置。

图6A是表示本发明的实施方式4所涉及的激光光源装置的概况的斜视图。

图6B是图6A所示的激光光源装置的概况的剖视图。