[发明专利]波纹管泵装置

说明书

提供一种波纹管泵装置，其能够在波纹管的收缩动作时，减少转送流体的排出压力下降的情况。波纹管泵装置(BP)通过将加压空气供给至密闭的排出侧空气室(21)，从而使配置于排出侧空气室(21)内的波纹管(13、14)进行收缩动作，将转送流体排出，并且通过从排出侧空气室(21)将加压空气排出，从而使波纹管(13、14)进行伸长动作，将转送流体吸入。波纹管泵装置(BP)具有电动气压调节器(51、52)，该电动气压调节器(51、52)在波纹管(13、14)的收缩动作时，将空气压力调整为使得供给至排出侧空气室(21)的加压空气的空气压力与波纹管(13、14)的收缩特性相对应地升高。

技术领域

本发明涉及一种波纹管泵装置。

背景技术

在半导体制造、化学工业等中，作为用于对药液、溶剂等转送流体进行输送供给的泵，有时使用波纹管泵。

例如专利文献1记载的那样，该波纹管泵以如下方式构成，即，将泵壳体连结于泵头的左右方向(水平方向)的两侧而形成2个空气室，在各空气室的内部分别设置有能够沿左右方向伸缩的一对波纹管，通过交替地将加压空气供给至各空气室而使各波纹管收缩或伸长。在波纹管泵连接有将向各空气室供给的加压空气调整为适当的空气压力力的机械式调节器。

在泵头形成有与各波纹管的内部连通的转送流体的吸入通路和排出通路，并且还设置有单向阀，该单向阀允许转送流体相对于吸入通路以及排出通路的向一个方向流动、且阻止向另一方向的转送流体的流动。吸入通路用的单向阀因波纹管的伸长而打开，从而允许转送流体从吸入通路向波纹管内流动，该单向阀因波纹管的收缩而关闭，从而阻止转送流体从该波纹管内向吸入通路流动。另外，排出通路用的单向阀以如下方式构成，即，因波纹管的伸长而关闭，从而阻止转送流体从排出通路向波纹管内流动，因波纹管的收缩而打开，从而允许转送流体从波纹管内向排出通路流动。

一对波纹管由连结杆(tie rod)连结为一体，如果一方的波纹管收缩而向排出通路将转送流体排出，则与此同时另一方的波纹管强制地伸长而从吸入通路将转送流体吸入。另外，如果所述另一方的波纹管收缩而向排出通路将转送流体排出，则所述一方的波纹管与其同时强制地伸长而从吸入通路将转送流体吸入。

专利文献1：日本特开2012-211512号公报

发明内容

在上述结构的波纹管泵中，在将加压空气供给至在波纹管的外侧形成的空气室而使波纹管收缩时，为了使波纹管收缩所需的应力随着该收缩的进行而增加，因此需要使供给至空气室的加压空气的空气压力升高。然而，对加压空气的空气压力进行调整的机械式调节器无法进行为了使空气室的空气压力升高而暂时地将阀打开的控制。因此，如图22所示，在各波纹管收缩的期间，产生转送流体的排出压力逐渐下降的现象(图中由虚线包围的部分)，这成为脉动的原因。

本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于提供一种波纹管泵装置，在波纹管的收缩动作时能够减少转送流体的排出压力下降的情况。

本发明的波纹管泵装置通过将加压空气供给至密闭的空气室，从而使配置于所述空气室内的波纹管进行收缩动作，将转送流体排出，并且通过从所述空气室将加压空气排出，从而使所述波纹管进行伸长动作，将转送流体吸入，所述波纹管泵装置的特征在于，具有电动气压调节器，在所述波纹管的收缩动作时，所述电动气压调节器将供给至所述空气室的加压空气的空气压力调整为，与所述波纹管的收缩特性相对应地升高。

根据以上述方式构成的波纹管泵装置，在波纹管的收缩动作时，利用电动气压调节器使供给至空气室的加压空气的空气压力与波纹管的收缩特性相对应地升高，因此能够随着波纹管的收缩而使空气室中的加压空气的空气压力升高。由此，能够在波纹管收缩的期间减少转送流体的排出压力下降的情况。

优选所述电动气压调节器每隔单位时间而利用下式对所述空气压力进行调整。

P＝aX+b