[发明专利]图案形成方法和制造物品的方法

权利要求书

1.一种图案形成方法，通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在多个基板中的每个基板上形成多个图案层，所述第一光刻装置采用逐个管芯对准方法，第二光刻装置采用全局对准方法，所述方法包括以下步骤：

通过使用采用全局对准方法的光刻装置在所述多个基板中的每个基板上仅形成多个对准标记；

基于通过对所述多个对准标记执行逐个管芯对准获得的第一对准信息，通过第一光刻装置在所述多个基板中的每个基板上形成第一图案层；以及

基于通过对由第一光刻装置分别形成以图案的第一图案层中的多个压射区域执行全局对准获得的第二对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠，

其中对所述多个基板中的每个基板获得第一对准信息，并且从所述多个基板中的一个基板获得第二对准信息。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，第一图案层中的所述多个压射区域中的每一个包括要由第二光刻装置形成于第二图案层中的多个部分区域，以及

通过由第二光刻装置将原版的图案转移到所述多个部分区域中的每一个，第二图案层被形成为与第一图案层重叠。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述多个部分区域包括第一部分区域和第二部分区域，并且形成第二图案层的步骤包括：

通过使用对所述多个压射区域的第一部分区域进行全局对准获得的对准信息作为第二对准信息，在将原版的图案转印到第一部分区域，以及

通过使用对所述多个压射区域的第二部分区域进行全局对准获得的对准信息作为第二对准信息，将原版的图案转印到第二部分区域。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，

通过第二光刻装置将原版的图案转印到第一部分区域的处理是在所述多个压射区域上执行的，并且然后

通过第二光刻装置将原版的图案转印到第二部分区域的处理是在所述多个压射区域上执行的。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，通过使用第二光刻装置在基板上形成所述多个对准标记。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，第二对准信息在多个基板中共用。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，第一光刻装置是被配置成通过使用模具在基板上形成压印材料的第一图案层的压印装置。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，第二光刻装置是被配置成经由投影光学系统将原版的图案转印到基板的曝光装置。

9.一种制造物品的方法，所述方法包括以下步骤：

使用图案形成方法在多个基板中的每个基板上形成图案；

处理其上已经形成图案的所述多个基板中的每个基板以制造制品，

其中所述图案形成方法是通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在所述多个基板中的每个基板上形成多个图案层的方法，所述第一光刻装置采用逐个管芯对准方法，第二光刻装置采用全局对准方法，并且包括以下步骤：

通过使用采用全局对准方法的光刻装置在所述多个基板中的每个基板上仅形成多个对准标记；

基于通过对所述多个对准标记执行逐个管芯对准获得的第一对准信息，通过第一光刻装置在所述多个基板中的每个基板上形成第一图案层；以及

基于通过对由第一光刻装置分别形成以图案的第一图案层中的多个压射区域执行全局对准获得的第二对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠，

其中对所述多个基板中的每个基板获得第一对准信息，并且从所述多个基板中的一个基板获得第二对准信息。