[发明专利]激振装置

权利要求书

1.一种激振装置，其特征在于，包括：

振动台；

Y轴致动器，其在作为水平方向的Y轴方向驱动所述振动台；

Z轴致动器，其在作为铅垂方向的Z轴方向驱动所述振动台；

第一滑动件，其将所述振动台与所述Z轴致动器以可在所述Y轴方向滑动的方式连结；和

第二滑动件，其将所述振动台与所述Y轴致动器以可在所述Z轴方向滑动的方式连结，

所述第一滑动件包括Y轴线性导轨，所述Y轴线性导轨具有：向所述Y轴方向延伸的Y轴轨道；和以可在所述Y轴方向滑动的方式与所述Y轴轨道卡合的Y轴滑架，

所述第二滑动件包括Z轴线性导轨，所述Z轴线性导轨具有：向所述Z轴方向延伸的Z轴轨道；和以可在所述Z轴方向滑动的方式与所述Z轴轨道卡合的Z轴滑架，

所述第一滑动件的Y轴轨道和所述第二滑动件的Z轴轨道固定于所述振动台，

所述第一滑动件的一个所述Y轴轨道与所述第二滑动件的一个所述Z轴轨道配置于同一平面上。

2.如权利要求1所述的激振装置，其特征在于：

所述第二滑动件包括3个以上并列的所述Z轴线性导轨。

3.如权利要求1所述的激振装置，其特征在于，包括：

X轴致动器，其使所述振动台在与所述Z轴方向和所述Y轴方向两个方向正交的X轴方向振动；和

第三滑动件，其将所述振动台与所述X轴致动器以可在所述Z轴方向和所述Y轴方向两个方向滑动的方式连结；

所述第一滑动件和所述第二滑动件分别包括X轴线性导轨，所述X轴线性导轨具有：向所述X轴方向延伸的X轴轨道；和以可在所述X轴方向滑动的方式与所述X轴轨道卡合的X轴滑架，

所述第三滑动件包括Y轴线性导轨和Z轴线性导轨，

所述Y轴线性导轨具有：向所述Y轴方向延伸的Y轴轨道；和以可在所述Y轴方向滑动的方式与所述Y轴轨道卡合的Y轴滑架，

所述Z轴线性导轨具有：向所述Z轴方向延伸的Z轴轨道；和以可在所述Z轴方向滑动的方式与所述Z轴轨道卡合的Z轴滑架，

所述第三滑动件的所述Z轴轨道固定于所述振动台，

所述第一滑动件的一个所述X轴轨道与所述第三滑动件的一个Z轴轨道配置于同一平面上。

4.如权利要求3所述的激振装置，其特征在于：

所述第三滑动件包括3个以上并列的所述Z轴线性导轨。

5.如权利要求3所述的激振装置，其特征在于：

所述第一滑动件、所述第二滑动件和所述第三滑动件的至少一者是具有作为转动体的滚柱的滚柱轴承机构。

6.如权利要求3至5中任一项所述的激振装置，其特征在于：

所述X轴致动器、所述Y轴致动器和所述Z轴致动器是电动型致动器，

所述电动型致动器包括：

筒状的固定部；

可动部，其至少一部分收纳于所述固定部的中空部内，在所述固定部的轴线方向被往返驱动；和

多个可动部支承机构，其对所述可动部以可在所述固定部的轴线方向往返移动的方式从侧方进行支承，

所述可动部支承机构包括：

轨道，其固定于所述可动部的侧面，并在所述固定部的轴线方向延伸；和

滑架，其固定于所述固定部，并以可在所述轴线方向滑动的方式与所述轨道卡合，

所述可动部支承机构等间隔地配置于所述固定部的轴线周围。

7.如权利要求6所述的激振装置，其特征在于：

所述可动部包括：

圆柱状部，其在所述固定部的中空部内同轴地配置；和

矩形状的顶板，其安装于所述圆柱状部的上端，并在所述Y轴方向具有一边，

所述顶板的所述Y轴方向上的长度大于所述圆柱状部的外径且为所述振动台的所述Y轴方向上的长度以上。

8.如权利要求6所述的激振装置，其特征在于：

包括两对所述可动部支承机构，

所述可动部在正交的两个方向上被两对所述可动部支承机构从两侧夹着。