[发明专利]碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201580044983.1 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106660016B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 小向拓治;下元温;辉平广美 | 申请（专利权）人： | 霓达株式会社 |
| 主分类号： | B01J23/745 | 分类号： | B01J23/745;B01J37/08;C01B32/162 |
| 代理公司： | 北京海智友知识产权代理事务所(普通合伙) 11455 | 代理人： | 吴京顺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 制造 催化剂 粒子 保持 结构 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构，其特征在于，
包括：包含Fe的催化剂粒子，和包含Al和Si的催化剂粒子形成层，
所述催化剂粒子形成层由所述Al和所述Si的合金形成，且将Al和Si以1:1～1:9的原子比例包含，
所述催化剂粒子的一部分埋在所述催化剂粒子形成层而被保持。
2.根据权利要求1所述的碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构，其特征在于，所述催化剂粒子形成层形成在阻挡层上。
3.根据权利要求1或2所述的碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构，其特征在于，所述催化剂粒子以109～1012个/cm2的密度配置。
4.根据权利要求1或2所述的碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构，其特征在于，所述保持结构形成在板状的基体上。
5.根据权利要求2所述的碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构，其特征在于，
所述阻挡层具有曲面，
所述催化剂粒子形成层沿着所述阻挡层的表面形状形成。
6.一种碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构的制造方法，包括以下工序：
在阻挡层上形成Al和Si的合金层后，在所述合金层上形成包含Fe的层而形成催化剂粒子形成层；
在包含氧的氛围中对所述催化剂粒子形成层进行热处理，形成包含所述Fe且一部分埋在所述催化剂粒子形成层而被保持的催化剂粒子。
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