[发明专利]用于保护化学药品容器的罩组件

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于保护化学药品容器的罩组件，更具体地涉及一种用于保护半导体工艺中所使用的化学药品容器的罩组件。

背景技术

通常，在半导体制造工艺中使用的化学物质的纯度非常重要，即始终需要维持高纯度。因此，使用最多的是玻璃瓶，其在维持高纯度方面被认为最安全。

这里的问题是容纳在所述玻璃瓶中的有毒化学物质由于玻璃瓶破碎而泄露到外部，从而直接地乃至间接地对人、装置、设施和半导体制品等造成污染，并且由于玻璃瓶的特性而直接伤害人的皮肤等的可能性很大。

实际上，在半导体制造工艺中，为了紧固和去除该玻璃瓶而经常移动该玻璃瓶，在该情况下，存在经常发生破碎现象的问题，而媒体等已对此详细报道过。

如上所述，最近越来越关注环境和安全，因此在如上所述由于含有化学物质的玻璃瓶破碎而发生有毒物质泄漏时，首先对操作人员造成人体伤害且对半导体企业的公众形象提升造成不利影响，因此实际上需要非常积极地采取针对此的应对措施。

此外，最近将玻璃瓶改变为塑料材质，欲改善现有的玻璃瓶的问题，然而在塑料材料的容器中由于析出而不能充分地维持化学溶液的纯度，因此预计玻璃瓶的使用将持续相当长的时间。

作为记载有用于防止容纳有化学物质溶液的玻璃容器的移动过程中由于玻璃破碎而可能发生的化学溶液泄漏的内容的现有技术文献，可以参考美国授权专利第6817485号(2014年11月16日)，然而，在上述文献中公开了从由保护压力容器包裹的内部容器排出高纯度的化学物质的方法。

在上述文献中公开了，在提供设置有从外部包裹容纳有化学物质的内部容器的另外的保护压力容器的双重结构的状态下，通过设置在所述内部容器的内侧的液体排出管稳定地排出高纯度的化学物质的方案，然而，在上述文献中具有如下问题：没有公开针对能够使容纳在保护压力容器内的内部容器露出的保护压力容器的分离方案的任何结构和没有公开在内部容器破碎的情况下保护压力容器防止化学物质泄漏的具体方案。

发明内容

技术问题

本发明旨在解决上述现有技术的问题，其目的在于提供用于保护化学药品容器的罩组件，该罩组件在容纳化学物质的玻璃瓶的外表面上形成可分离的两段以上的构件，从而即使玻璃瓶在被操作者处理或移动时由于冲击而发生破碎，该罩组件也能使容纳在玻璃瓶中的化学物质向外部的泄漏最小化，以防止对周边造成不良影响。

技术方案

为了实现上述目的，根据本发明的用于保护容纳半导体制造工艺中所使用的高纯度化学物质的内部容器的罩组件包括：第一罩构件，所述第一罩构件包裹所述内部容器的一部分；第二罩构件，所述第二罩构件包裹所述内部容器的另一部分；以及连接构件，所述连接构件连接所述第一罩构件和所述第二罩构件，其中，所述连接构件可以包括连接主体，其形成在所述第一罩构件和所述第二罩构件中的一者上且用于被接合至另一者。

此外，在根据本发明的罩组件中，还可以包括把手，所述把手能够从所述第一罩构件和所述第二罩构件中的任一者拆卸。

此外，在根据本发明的罩组件中，所述把手可以以冰激凌锥形杯的打开方式进行拆卸。

此外，在根据本发明的罩组件中，还可以包括移动用把手，所述移动用把手一体地接合至所述第一罩构件和所述第二罩构件中的任一者上。

此外，在根据本发明的罩组件中，在设置有偶数个所述移动用把手时，偶数个所述移动用把手可以被设置成每两个移动用把手面向彼此。

此外，在根据本发明的罩组件中，所述连接构件还可包括密封构件，所述密封构件设置在所述第一罩构件和所述第二罩构件之间。

此外，在根据本发明的罩组件中，所述连接主体从所述第一罩构件的下端以阶梯形式突出，且在所述第二罩构件的上端可以形成有阶梯式爪，所述阶梯式爪用于卡止紧固以阶梯形式突出的所述连接主体。

此外，在根据本发明的罩组件中，所述连接主体为从所述第一罩构件沿朝向所述第二罩构件的方向突出的突起形状，在所述第二罩构件的上端可以形成有辅助连接主体，所述辅助连接主体沿朝向所述连接主体的方向突出地形成以与所述连接主体沿上下方向彼此交替地设置。

此外，在根据本发明的罩组件中，所述连接构件还包括延伸部，所述延伸部可以分别形成在所述连接主体和所述第一罩构件之间以及所述辅助连接主体和所述第二罩构件之间。