[发明专利]衬底支座、用于在衬底支撑位置上加载衬底的方法、光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201580022264.X | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN106255924B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | M·H·A·里恩德斯;N·E·德克鲁伊杰夫;M·达萨;M·霍本;J·G·M·穆尔德;T·波伊兹;M·A·P·范登赫尤维尔;P·范唐根;J·J·H·格里特曾;A·H·弗维杰;A·A·索伊硕特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 支座 用于 支撑 位置 加载 方法 光刻 设备 器件 制造 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司，未经ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580022264.X/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
