[发明专利]光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201580019682.3 | 申请日： | 2015-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN106170727B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | R·J·M·德容;L·L·F·米克斯;R·J·E·梅里 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 器件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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