[实用新型]一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板有效

专利信息
申请号: 201521075355.3 申请日: 2015-12-22
公开(公告)号: CN205329211U 公开(公告)日: 2016-06-22
发明(设计)人: 吴庆;徐勇;王海庆;王禄宝 申请(专利权)人: 镇江大展硅科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 季萍
地址: 212000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 降低 高效 铸锭 质点
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,属于太阳能电池多晶硅铸锭领域。

背景技术

现有技术中多晶炉内保护坩埚用的石墨护板,底板都是平坦的,多晶炉的加热器在护板的四周,使底板的温度由外向内是递减的,对于半熔工艺而言,固液界面必然是个弧面,不利于半熔工艺降低籽晶高度,其次,护板规格很多,其开口形状、大小、位置对于硅液表面蒸气的走向有很大影响,完全封闭的护板、常规开口的护板都会影响排杂效果,同时,常见的护板开口后,其中上部仍有小块护板阻挡排气,从而降低铸锭质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,利于半熔工艺降低籽晶高度,增加杂质排出,降低铸锭硬质点。

本实用新型是通过如下的技术方案予以实现的。

一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,包括底板和侧板,其中,所述底板呈矩形,所述底板表面设有第一凹槽和若干第二凹槽,所述第一凹槽包括水平槽和竖直槽,所述水平槽和竖直槽垂直相连,所述水平槽和竖直槽的长度相等,所述第二凹槽呈圆形,所述若干第二凹槽同心均匀设置,且直径依次增大,所述水平槽和竖直槽两端依次穿过若干第二凹槽,并与直径最大的第二凹槽相连,所述水平槽和竖直槽的交点位于第二凹槽的圆心处;

所述侧板设置于底板四周,所述侧板顶部设有第一开口和第二开口,所述第二开口有两个,且分别位于第一开口两侧,所述第一开口和第二开口之间设有连接孔,所述侧板侧面设有若干安装孔,所述若干安装孔均匀间隔设置。

上述一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,其中,所述第一凹槽和第二凹槽的槽深度均为h1,槽宽度均为d1,所述h1为3mm,所述d1为5mm。

上述一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,其中,所述第二凹槽的数目为九个,所述九个第二凹槽中的最小直径为d2,所述d2为58mm,相邻第二凹槽的直径差均为d3,所述d3为58mm。

上述一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,其中,所述第一开口的宽度为d4,所述d4为493mm。

上述一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,其中,所述第二开口的宽度为d5,所述d5为82mm,所述第二开口到侧板边缘的距离为d6,所述d6为145mm。

上述一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,其中,所述第一开口和第二开口的深度均为h2,所述h2为68mm。

本实用新型的有益效果为:

本实用新型在底板上增加了第一凹槽和第二凹槽,并且尺寸适宜,使多晶硅铸锭过程中,底板横向温度梯度减小,固液面弧度减小,更利于半熔工艺降低籽晶高度。

本实用新型在侧板以第一开口和第二开口的结构设计,并且尺寸适宜,使多晶硅铸锭过程中,可以大幅度减少氩气涡流,从而增加杂质排出,降低铸锭硬质点。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型底板俯视图。

图3为本实用新型侧板俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。

一种降低半熔高效铸锭硬质点的护板,包括底板1和侧板2,其中,所述底板1呈矩形,所述底板1表面设有第一凹槽3和若干第二凹槽4,所述第一凹槽3和第二凹槽4的槽深度均为h1,槽宽度均为d1,所述h1为3mm,所述d1为5mm,所述第一凹槽3包括水平槽5和竖直槽6,所述水平槽5和竖直槽6垂直相连,所述水平槽5和竖直槽6的长度相等;

所述第二凹槽4呈圆形,所述若干第二凹槽4同心均匀设置,且直径依次增大,所述第二凹槽4的数目为九个,所述九个第二凹槽4中的最小直径为d2,所述d2为58mm,相邻第二凹槽4的直径差均为d3,所述d3为58mm,所述水平槽5和竖直槽6两端依次穿过若干第二凹槽4,并与直径最大的第二凹槽4相连,所述水平槽5和竖直槽6的交点位于第二凹槽4的圆心处;

所述侧板2设置于底板1四周,所述侧板1顶部设有第一开口7和第二开口8,所述第二开口8有两个,且分别位于第一开口7两侧,所述第一开口7的宽度为d4,所述d4为493mm,所述第二开口8的宽度为d5,所述d5为82mm,所述第二开口8到侧板2边缘的距离为d6,所述d6为145mm,所述第一开口7和第二开口8的深度均为h2,所述h2为68mm,所述第一开口7和第二开口8之间设有连接孔9,所述侧板2侧面设有若干安装孔10,所述若干安装10孔均匀间隔设置。

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