[实用新型]新型线切割机双排切割晶托装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，进一步是线切割机切割多晶硅块装置，尤其是线切割机双排切割晶托装置。

背景技术

目前多晶硅线切割所使用的线切割设备，大多是双排并排设计的。此类机型在增加装载量的同时，也存在切割过程中并排晶棒相互影响的情况。特别是在入切和收刀阶段尤为明显。经常会出现因并排晶棒不能同时入刀导致的边缘缺陷，以及收刀时线弓过大导致的胶面边缘缺陷，最终导致切割良品率较低。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种线切割机双排切割晶托加角度装置，它可克服现有技术的缺陷，减少入切和收刀阶段双排切割相互影响所产生的不良，降低生产成本，提高切片良品率。

本实用新型的目的是通过以下方案实现的：

在原晶托设计的基础上，在晶托和金属垫板之间一侧增加一个金属垫条，使晶棒和线网之间不再平行，而是有一个角度，从而使晶棒在入切时一个角先接触线网，使线网受力逐步增加，减少入切边缘缺陷的产生，而到了收刀阶段因为角度的存在，可将切割线弓的角度抵消，实现粘胶面的平稳出刀，减少粘胶面的边缘缺陷的产生。从而提升切割良品率。

具体是：

新型线切割机双排切割晶托装置，包括两个带有燕尾槽的固定晶托，两个用来粘结玻璃的金属垫板，连结晶托和金属垫板的固定螺丝；两块玻璃板，玻璃板下粘结多晶硅块；其特征在于：所述晶托下平面与多晶硅块上平面间呈3－6度夹角。

本实用新型还可通过以下方案进一步实现：

所述夹角由以下结构实现：晶托和金属垫板中间添加有楔形金属垫条，固定螺丝将晶托金属垫板固紧，同时夹紧楔形金属垫条。进一步：楔形金属垫条的厚度为1.5mm-2.0mm之间。

所述夹角由以下结构实现：将金属垫板制成楔形，金属垫板上平面与下平面呈3－6度夹角。

所述夹角由以下结构实现：将玻璃板制成楔形，玻璃上平面与下平面呈3－6度夹角。

本实用新型的有益效果是：1、在双排满载切割时给晶棒加一个角度，可以避免晶棒在入切时产生边缘线痕。2、双排满载切割所加角度在收刀时可以抵消切割过程中产生的线弓，使收刀更加平稳，避免因满载切割线弓过大产生胶面的亮边、崩边和硅落等异常。最终实现提升切割良品率。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图中：1为晶托，2为金属垫板，3为固定螺丝，4为楔形金属垫条，5为玻璃板，6为多晶硅块。

具体实施方式

实施例：

如图1所示，新型线切割机双排切割晶托装置，包括两个晶托1、两个金属垫板2，以及两块玻璃板5，玻璃板5下置有多晶硅块6。通过在晶托1和金属垫板2中间添加两个相同尺寸的楔形金属垫条4，固定螺丝3将晶托1金属垫板2固紧（也可以将所述楔形垫条直接通过固定晶托和金属垫板的螺丝来固定），给下面粘结的多晶硅块6一个倾斜角度，实现对入切和收刀不良的改善。

所述楔形金属垫条设置于晶托和金属垫板之间靠近中间砂帘一侧，楔形金属垫条厚度范围1.5mm-2.0mm。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。