[实用新型]一种靶材生产用的离心甩干机

说明书

技术领域

本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材生产用的离心甩干 机。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当 工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、 煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后需 要进行干燥处理，目前干燥处理采用风枪吹干，工作效率不高，劳动强度 大，不适合大批量生产。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了 一种靶材生产用的离心甩干机，能够极大提高基板的干燥处理进度，适合 大批量生产使用。

本实用新型采用的具体技术方案是：

一种靶材生产用的离心甩干机，包括基座、风扇筒，风扇筒呈筒形结 构，风扇筒包括都为圆环状的上固定盘及下固定盘，上固定盘及下固定盘 之间借助竖直设置的扇叶固定，基座下端面固定有电动机，电动机输出轴 贯穿基座底面并与风扇筒的下固定盘连接，基座底面还设置有一组多个基 板固定座，一组多个的基板固定座围绕风扇筒呈圆环形分布。

所述的基座上还设置有壳体，壳体套装在风扇筒及基板固定座外侧， 壳体的侧壁上对应基板固定座的位置设置有透气窗。

所述的壳体上端面还设置有加热风道，加热风道设置在风扇筒上方， 加热风道内设置有加热棒。

所述的加热棒借助固定杆悬挂设置在加热风道内，加热棒呈螺旋弹簧 状。

所述的基板固定座呈U型槽体结构，基板固定座的U型槽体结构的轴 线与基板固定座到风扇筒中心连线的夹角呈30°-45°。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型，采用风扇筒进行吹风，将环绕设置的基板吹干，并借助 风力将水分甩出设备，保证了基板风干的效率，设置的基板固定座及透气 窗方便将基板安装及取出，使得设备在不停机情况下能够连续生产。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

附图中，1、基座，2、上固定盘，3、下固定盘，4、扇叶，5、电动机， 6、基板固定座，7、壳体，8、透气窗，9、加热风道，10、加热棒，11、 固定杆。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明：

具体实施例如图1所示，本实用新型为一种靶材生产用的离心甩干机， 包括基座1、风扇筒，风扇筒呈筒形结构，风扇筒包括都为圆环状的上固定 盘2及下固定盘3，上固定盘2及下固定盘3之间借助竖直设置的扇叶4 固定，基座1下端面固定有电动机5，电动机5输出轴贯穿基座1底面并与 风扇筒的下固定盘3连接，基座1底面还设置有一组多个基板固定座6，一 组多个的基板固定座6围绕风扇筒呈圆环形分布。

为了提高干燥效果，所述的基座1上还设置有壳体7，壳体7套装在风 扇筒及基板固定座6外侧，壳体7的侧壁上对应基板固定座6的位置设置 有透气窗8。所述的壳体7上端面还设置有加热风道9，加热风道9设置在 风扇筒上方，加热风道9内设置有加热棒10。所述的加热棒10借助固定杆 11悬挂设置在加热风道9内，加热棒10呈螺旋弹簧状，使得加热棒10与 加热风道9接触时间延长，加热效果更好。

为了扩充基板安装数量，提高基板与风的接触时间，所述的基板固定 座6呈U型槽体结构，基板固定座6的U型槽体结构的轴线与基板固定座6 到风扇筒中心连线的夹角呈30°-45°。

本实用新型，采用风扇筒进行吹风，将环绕设置的基板吹干，并借助 风力将水分甩出设备，保证了基板风干的效率，设置的基板固定座及透气 窗方便将基板安装及取出，使得设备在不停机情况下能够连续生产。