[实用新型]磁控溅射装置有效
| 申请号： | 201521052574.X | 申请日： | 2015-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN205205222U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 檀长兵;程保龙;王涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 王春丽 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射装置，其特征在于，其包括基板、与所述基板正对设 置的靶材、环绕设置在所述基板外围的遮挡板以及多个突出部；所述突出 部设置在所述遮挡板的至少一侧，且相邻突出部之间间隔设置以形成阻挡 空间。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述突出部的 形状为直角三角形，所述直角三角形的直角边固定于所述遮挡板上远离所 述基板的一侧。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述突出部朝 着所述遮挡板表面方向倾斜设置。
4.根据权利要求3所述的磁控溅射装置，其特征在于，倾斜的角度为 5-10度。
5.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述遮挡板的 材质为铝合金。
6.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述遮挡板的 厚度大于所述基板的厚度。
7.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述遮挡板和 所述突出部的表面均具有粗糙度。
8.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述多个突出 部间隔设置通过螺钉固定在所述遮挡板的至少一侧。
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