[实用新型]一种晶棒磨边设备的打磨组件

说明书

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产设备设计领域，具体涉及一种晶棒磨边设备的打 磨组件。

背景技术

在硅片加工过程中，晶棒磨边是硅片切割加工前的一道重要工序，按工艺要 求，晶棒磨边不能出现光亮，更不能出现崩边，否则，就会影响硅片质量，崩边 会直接减少晶棒的得片率即影响晶棒的利用率，经济损失很大。现有磨边工艺大 都采用晶棒磨边设备对晶棒的棱边进行打磨，而为了确保晶棒打磨效果及效率， 需要定期更换打磨部件-磨盘。现有的晶棒磨边设备中，磨盘大都通过多个螺钉 固定在基座上，磨盘拆换操作比较繁琐，费时费工。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构合理的晶棒磨边设备打磨组件，其上磨 盘拆装便捷，省时省工。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶棒磨边设备的打磨 组件，包括基座和设置在所述基座上的磨盘，所述基座上端面开设有燕尾槽，所 述磨盘的下端面设有适于与所述燕尾槽配合的燕尾凸台，所述燕尾槽内设有防止 所述燕尾凸台滑出的锁定组件；

所述锁定组件为弹性锁定组件，其设置在所述燕尾槽内的阶梯型的限位通孔 内，所述弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块、为所述锁块提供复位 弹力的弹簧和与限位通孔螺接的限位件；所述燕尾槽与所述燕尾凸台完成配合后 所述锁块在所述弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面适于抵靠在所述燕尾 凸台的相应端面上，所述锁块上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面。

优选的，所述磨盘上表面设有若干向上凸起的打磨凸条，所述打磨凸条上端 面为打磨面。

多个所述打磨凸条由所述磨盘中心向外呈辐射状延伸，相邻所述打磨凸条之 间形成排料槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：采用本实用新型中的结构，在 组装磨盘和基座时，将磨盘上的燕尾凸台插入基座上的燕尾槽内，燕尾凸台在插 入燕尾槽的过程中，通过倾斜引导面推动锁块向下方运动，使锁块进入限位通孔 内，待燕尾槽与燕尾凸台完成配合后，燕尾凸台恰好完全经过锁块，这时，锁块 在弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面抵靠在燕尾凸台的相应端面上，完 成燕尾凸台的锁定，从而完成磨盘和基座的组装；拆卸磨盘时，只需用手或者借 助工具按压锁块，使锁块完全进入限位通孔内，以解除锁块对燕尾凸台的锁定， 这样燕尾凸台就能顺畅的从燕尾槽内移出；实现快速安装或拆换磨盘，省时省工。

附图说明

图1为本实用新型一种晶棒磨边设备的打磨组件的爆炸图。

图2为本实用新型一种晶棒磨边设备的打磨组件的锁定组件的结构示意 图。

图3为本实用新型一种晶棒磨边设备的打磨组件的磨盘的结构示意图。

图中所示，1、基座，2、磨盘，3、燕尾槽，4、燕尾凸台，5、锁定组件， 6、锁块，7、弹簧，8、限位件，9、倾斜引导面，10、打磨凸条，11、排料槽， 12、阻挡面。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案 进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有 做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范 围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：